구리 Cu 증발 공정 참고 내용

구리는 세계에서 가장 많이 사용되는 원소 중 하나이며, 고대부터 사용되었다는 증거가 발견되었습니다. 구리는 붉은 주황색을 띠며 녹는점은 1,083°C, 밀도는 8.92 g/cc, 증기압은 1,017°C에서 10-4 Torr 입니다. 세계에서 가장 널리 사용되는 합금 중 두 가지인 황동과 청동에는 구리가 함유되어 있습니다. 구리는 열과 전기의 우수한 도체로 알려져 있으며 전선, 동전, 전자석 등에 사용됩니다. 진공 산업은 스퍼터링 타겟에 접합되는 백킹 플레이트에 구리 소재를 크게 사용합니다. 구리는 구리 합금 및 화합물과 함께 진공 상태에서 증발시켜 반도체, 센서, 회로 장치 제조에 사용되는 층을 형성합니다.

구리(Cu)의 열 증발

구리는 텅스텐 또는 몰리브덴 보트에서 열 증발시킬 수 있습니다. 또는 텅스텐 바스켓도 사용 가능합니다. 알루미나 코팅이 되어 있는 것도 좋습니다.

알루미나 도가니와 함께 차폐된 탄탈륨 도가니 히터를 사용하는 것도 좋습니다.

구리(Cu)의 전자빔 증발

구리는 이빔 증착에 문제가 없습니다. 도가니(라이너)는 그라파이트나 몰리브덴이 적합합니다.

도가니의 양을 60~70% 정도 유지하는 것이 중요합니다.

 

스윕은 넓게 하는 것보다는 좁게 하는 것이 적합한데, 다만 파고 들어가면서 히스를 타격하는 것에 주의 해야 합니다.

이빔으로 기판과의 거리가 650mm 정도인 이빔의 경우 1마이크로미터 증착에 필요한 소스는 약 11.840g 입니다.