진공 증착 장비 히터 선정 할 때 참고 할 내용

참고 사이트

https://m.blog.naver.com/lee_jinhwan/221432019669

Heater - SiC, PBN, W, Graphite

 

증착 공정에서 산소를 사용하는 경우 제약이 많이 따르게 된다.

고온에서 사용하는 경우에는 구조물들의 내구성에도 신경을 써야 한다.

 

히터의 라이프 타임을 연장하기 위해 고려해야 하는 내용

https://m.blog.naver.com/lee_jinhwan/220781334638

Heater Lifetime 연장

그라파이트 히터와 SiC 코팅 그라파이터 히터의 비교

https://m.blog.naver.com/lee_jinhwan/221344242101

Graphite Heater & SiC Coating Graphite Heater

 

 

 

순수 SiC 히터의 산소 공정 온도는 800도 이하로 보아야 한다.

그 이상의 온도가 되면, 실리콘 성분이 빠져 나온다. Si 와 산소가 반응하면서 하얀색 가루가 증착 되는 것을 볼 수 있다.