다양한 방식의 박막제조방법이 있다. 몇가지 방식에 따른 특성 및 고려 사항을 보면 다음과 같다.

참고파일, 사이트 https://www.scia-systems.com/products/e-beam-evaporation/scia-eva-200 scia Eva 200 Glancing Angle Deposition for Precise Nanostructures With the scia Eva 200 ultra-pure coatings can be deposited on up to 200 mm wafers by electron beam (e-beam) evaporation. The system enables up to 12 target materials in crucible-pockets and can be config www.scia-systems.com http://koreavac.com/sub/pro..

참고자료1 http://kjmm.org/journal/Figure.php?xn=kjmm-2020-58-3-207.xml&id= 1. 서 론 KJMM Korean Journal of Metals and Materials Korean J. Met. Mater. 1738-8228 2288-8241 The Korean Institute of Metals and Materials 10.3365/KJMM.2020.58.3.207 kjmm-2020-58-3-207 Research Paper 나노인덴테이션 방법으로 크롬 박막의 고유경도 kjmm.org KJMM Korean Journal of Metals and Materials Korean J. Met. Mater. 1738-8228 2288-8241 The Kore..

레스커 참고 사이트 https://www.lesker.com/newweb/deposition_materials/depositionmaterials_evaporationmaterials_1.cfm?pgid=ti4b Kurt J. Lesker Company Enabling Technology for a Better World www.lesker.com 써멀

증착 장비에서 대표적인 것이 써멀과 이빔이다. 써멀시스템의 경우 대용량의 빠른 속도 증착이 가능하지만 일정한 레이트 조절은 한계가 있다. 돔으로 많은 샘플을 만들 경우에도 써멀시스템이 유리하다. 반면에 이빔은 의외로 빠른속도 증착이 어려운 경우가 많다. 써멀은 소소가 녹으면서 넓게 퍼지는 반면, 이빔은 에로우 존이 좁아지면서 돔으로 구성하는 경우 균일도 확보가 다소 어렵다. 이때 가장 중요한 것은 에로우 존은 최대 30도 정도로 생각하고 돔을 구성해야 한다. 소스와 돔의 거리가 중요한데, 이때 돔의 크기가 소스에서 30도 안에 들어오도록 구성해 주어야 균일도가 틀어지지 않는다.(경험상 450mm 32도가 최대이다.) 그리고, 거리가 멀어지면(증기압, 민프리패스의 영향 등) 급속도로 균일도가 감소한다. 균..

두껍게 쌓아야 하는 박막이 있어서, 멀티 센서를 사용해 보기로 했습니다. 선택한 제품은 인피콘의 6개짜리 QCM 센서 해드입니다. 전에 모터 타입의 타사 제품을 사용해 보았는데, 모터타입은 실패작이었습니다. 우선 구조물이 너무 복잡하고, 얼라인이 틀어지면서 잔고장이 많더군요. 그래서, 이번에는 기계적인 간단한 공압구조를 사용해보기로 했습니다. 이제품에 사용가능 한 컨트롤러와 모니터는 크게 2종류로 구분 되어있습니다. QCM의 위치를 확인 가능한 것과 불가능 한것? 그런데, 센서로 위치를 확인 하는 것은 아닌것 같습니다. 어떻게 하는 것인지 잘 모르겠습니다. 연구를 좀 해봐야 하지 않을까 생각됩니다. 가이드 라인에 따라서 컨트롤러 또는 모니터를 연결합니다. 다음으로, 센서를 설치 할 때는 위치에 신경 써야..