이트륨 산화물은 Y 2 O 3 의 화학식을 갖는 화합물입니다 . 흰색을 띠며 융점은 2,410°C, 밀도는 5.01g/cc, 증기압은 ~2,000°C 에서 10 -4 Torr입니다. 가장 중요한 이트륨 화합물로 간주됩니다. 이트륨 산화물은 텔레비전에서 빨간색을 제공하는 형광체를 만드는 데 사용되며 이트륨 철 가넷은 마이크로파 필터의 중요한 요소입니다. 반도체 및 수동 부품 제조를 위해 진공 상태에서 증발됩니다. 스퍼터 방식으로 증착이 가능하며, 리엑티브 스퍼터링으로 증착을 하기도 합니다. 최대 전력 밀도는 인치당 20W 정도입니다. 써멀 증착은 이론적으로 어렵습니다. 써멀을 사용하기 위해서는 두꺼운 텅스텐 보트를 사용하는 것이 유리합니다. 산소의 분압이 어느 정도 있어야 제대로 된 박막을 얻을 수 있습니..

텅스텐은 밀도가 높은 원소 중 하나입니다. 밀도는 19.3g/cc, 녹는점은 3,410°C, 증기압은 2,757°C에서 10 -4 Torr입니다. 외관상 광택이 있고 회백색입니다. 모든 금속 중에서 녹는점이 가장 높은 것으로 알려져 있으며, 특유의 경도로 인해 순수한 형태로 기계를 가공하거나 단조하는 것이 매우 어렵습니다. 텅스텐은 일반적으로 전기 필라멘트를 만드는 데 사용됩니다. 텅스텐 카바이드는 드릴, 톱, 보석류에서 발견됩니다. 텅스텐은 반도체, 연료전지, 센서 생산을 위해 진공 상태에서 증발됩니다. 텅스텐 박막은 써멀로는 증착이 불가능 하며, 일반적으로 이빔이나 스퍼터 방식을 사용합니다. 이빔도 일반적인 방법으로는 증착이 어려울 수 있습니다. 라이너를 사용하지 않고 사용하는 것이 좋지만, 덩어리로..

이빔 장비에서 초점이 2군데 맺히는 경우가 있다. 이런 경우에는 마그네틱 필드의 초점을 조절하는 폴피스에 문제가 있을 가능성이 많다. 폴피스의 얼라인이 틀어지거나, 자성체 등으로 코팅이 되는 경우를 의심해 보아야 한다. 이때 조심해야 하는 것은 폴피스를 본체에서 절대 때지 않는 것이다. 가끔 폴피스가 떨어졌다가 붙으면 원래의 자성이 틀어지는 경우가 있다. 이경우 이빔이 가운데 들어오지 않는 문제가 있다. 주의 해야 한다. 거의 대부분은 폴피스가 풀리거나 해서 얼라인이 틀어진 경우이기 때문에 반듯하게 맞추어주면 해결되는 경우가 많다.

참고파일, 사이트 https://www.scia-systems.com/products/e-beam-evaporation/scia-eva-200 scia Eva 200 Glancing Angle Deposition for Precise Nanostructures With the scia Eva 200 ultra-pure coatings can be deposited on up to 200 mm wafers by electron beam (e-beam) evaporation. The system enables up to 12 target materials in crucible-pockets and can be config www.scia-systems.com http://koreavac.com/sub/pro..

매뉴얼 참고 자료 MDC 이빔 시스템

레스커 참고자료 https://www.lesker.com/newweb/deposition_materials/depositionmaterials_evaporationmaterials_1.cfm?pgid=ag2 Kurt J. Lesker Company Enabling Technology for a Better World www.lesker.com