몰리브덴은 전이금속으로 녹는점은 2617도로 매우 높으며, 증기압은 10E-4 Torr 2117도입니다. 이빔으로 증착이 잘됩니다. 라이너는 그라파이트 라이너를 사용하거나, 라이너 없이 사용하면 크게 문제없이 가능하다. 가능한 한 스윕을 넓게 해주는 것이 좋고, 8자 패턴을 사용하면 적당합니다. 몰리브덴 증착에서 가장 문제 되는 것은 진공도 상승인데, 충분히 탈가스를 한 후 증착을 시도하는 것이 중요합니다. 물질별 평형 증기압 평형 증기압은 10E-2 Torr 정도이고, 이때 온도는 2600도입니다. 일반적으로 평형증기압이 10E-2 Torr 근처인 물질은 빠른 속도로 증착이 진행됩니다. 다만 높은 온도가 필요하기 때문에 써멀 방식으로는 증착이 어렵습니다. 이빔으로는 증착이 잘됩니다. 라이너는 그라파이트..

알루미늄이나 구리 같은 것을 스퍼터링 하다보면 뿌옇게 나오거나 변색되는 경우가 있다. 이런 경우에는 스퍼터링 되면서 발생하는 온도 요소와 산소와의 반응으로 인해 변색되거나 뿌옇게 나온다. 온도요소를 줄여야 하는데, 순간 엄청나게 빠른 속도로 증착하거나, 공정 파워를 낮추어서 여러 건으로 증착을 하거나, 히터 사용을 하지 않는 것이 좋다.

참고파일, 사이트 https://www.scia-systems.com/products/e-beam-evaporation/scia-eva-200 scia Eva 200 Glancing Angle Deposition for Precise Nanostructures With the scia Eva 200 ultra-pure coatings can be deposited on up to 200 mm wafers by electron beam (e-beam) evaporation. The system enables up to 12 target materials in crucible-pockets and can be config www.scia-systems.com http://koreavac.com/sub/pro..

참고자료1 http://kjmm.org/journal/Figure.php?xn=kjmm-2020-58-3-207.xml&id= 1. 서 론 KJMM Korean Journal of Metals and Materials Korean J. Met. Mater. 1738-8228 2288-8241 The Korean Institute of Metals and Materials 10.3365/KJMM.2020.58.3.207 kjmm-2020-58-3-207 Research Paper 나노인덴테이션 방법으로 크롬 박막의 고유경도 kjmm.org KJMM Korean Journal of Metals and Materials Korean J. Met. Mater. 1738-8228 2288-8241 The Kore..

이빔 증착기는 써멀, 스퍼터와 함께 가장 기본적인 증착기 중에 하나이다. 주로 금속박막을 제조하는데 사용되며, 간단한 구성에 효율 좋은 박막을 얻을 수 있다. 기구물이 스퍼터나 써멀에 비해 간단하고, 여러 물질을 증착 가능하기 때문에 잔고장이 적고 매우 효율적이라 할 수 있다. 이빔 증착기에서 가장 많이 발생하는 문제는 주로 아크로 인한 피드쓰루와 파워 서플라이 데미지, 그리고 필라멘트의 손상이다. 그 중에서 필라멘트의 손상은 주로 챔버 벤트와 같은 급격한 냉각으로 발생하기 때문에, 챔버 벤트전에 시간만 충분히 주어도 문제를 예방 할 수 있다. 피드쓰루나 파워의 손상은 고전압으로 인한 문제가 주요 원인이기 때문에, 사용 방법에 따라서 문제를 방지하는 것이 어려울 수 있으나, 필라멘트의 손상은 벤트만 잘해..

두껍게 쌓아야 하는 박막이 있어서, 멀티 센서를 사용해 보기로 했습니다. 선택한 제품은 인피콘의 6개짜리 QCM 센서 해드입니다. 전에 모터 타입의 타사 제품을 사용해 보았는데, 모터타입은 실패작이었습니다. 우선 구조물이 너무 복잡하고, 얼라인이 틀어지면서 잔고장이 많더군요. 그래서, 이번에는 기계적인 간단한 공압구조를 사용해보기로 했습니다. 이제품에 사용가능 한 컨트롤러와 모니터는 크게 2종류로 구분 되어있습니다. QCM의 위치를 확인 가능한 것과 불가능 한것? 그런데, 센서로 위치를 확인 하는 것은 아닌것 같습니다. 어떻게 하는 것인지 잘 모르겠습니다. 연구를 좀 해봐야 하지 않을까 생각됩니다. 가이드 라인에 따라서 컨트롤러 또는 모니터를 연결합니다. 다음으로, 센서를 설치 할 때는 위치에 신경 써야..