1. 전체 공정 온도 범위안에서 충분한 기계적 강도를 가지고 있는가? 구조적 완전함 이외에도 가동되는 표면의 변형이 기능에 영향을 주지 않는지 확인해야 합니다. 진공상태에서 구동되는 부품은 압력의 차이로 인한 기계적 부하와 방향성, 그리고 이것을 보완하기 위한 그리즈등의 보조 물품의 사용에 제약이 있기 때문에 마찰 등이 크게 증가하게 됩니다. 2. 높은 기체의 기밀성을 가지고 있는가? 각 재료는 기본적으로 기체가 침투할 수 있습니다. 기체 침투성의 전체 공정을 침투라 부릅니다. 이것은 재료, 기체의 유형, 주변 조건 특히 온도에 따라 달라집니다. 침투성은 탄성 중합체 실을 사용하여 판단해야 합니다. 3. 낮은 내재 증기압과 높은 용융점, 비등점 등의 물성을 갖고 있는가? 너무 높은 내재 증기압은 최종 진..

진공부품 참고 자료 1

요즘에 하도 게이지 수급이 어려워서, 재고 있는것 막 가져다 사용하니 계속 게이지 제어 방식이 바뀝니다. 나중에 어떻게 대처해야 할지... 이번 선택은 인피콘 PGE300 매뉴얼 참고

이빔 증착기는 써멀, 스퍼터와 함께 가장 기본적인 증착기 중에 하나이다. 주로 금속박막을 제조하는데 사용되며, 간단한 구성에 효율 좋은 박막을 얻을 수 있다. 기구물이 스퍼터나 써멀에 비해 간단하고, 여러 물질을 증착 가능하기 때문에 잔고장이 적고 매우 효율적이라 할 수 있다. 이빔 증착기에서 가장 많이 발생하는 문제는 주로 아크로 인한 피드쓰루와 파워 서플라이 데미지, 그리고 필라멘트의 손상이다. 그 중에서 필라멘트의 손상은 주로 챔버 벤트와 같은 급격한 냉각으로 발생하기 때문에, 챔버 벤트전에 시간만 충분히 주어도 문제를 예방 할 수 있다. 피드쓰루나 파워의 손상은 고전압으로 인한 문제가 주요 원인이기 때문에, 사용 방법에 따라서 문제를 방지하는 것이 어려울 수 있으나, 필라멘트의 손상은 벤트만 잘해..

가스켓을 조이는 방법은 다음과 같다. CF 플랜지를 사용하는 챔버는 볼트에 고온 고착 방지 윤활유를 사용하는 것이 좋다. 200도 이상의 베이크아웃 환경에서는 은도금 볼트를 사용하는 것이 좋다. 보프라기 없는 장갑과 지문등의 자연물이 묻지 않도록 주의 한다. 플랜지 결합면과 엣지날을 채결 전에 반드시 확인 한다. 가스켓을 홈에 반듯하게 정렬하여 채결하고, 손가락으로 단단히 조인다. 십자형 패턴으로 한번에 하나씩 1/4~/1/2 바퀴를 규칙적으로 조인다. 어닐링된 가스켓이나 도금된 것은 1/16로 규칙적으로 조인다. 금속 대 금속이 맞다을 때까지 조인다. 사용하는 가스켓의 재료는 다음과 같은 것들이 있다. 구리 : 스테인리스강 CF 플렌지는 1/4의 경질의 무산소동 OFHC를 사용한다. 고진공 시스템에 일..

박막의 두께가 많거나, 진공상태가 중요한 박막 증착장비에서 많이 사용하는 것이 멀티 QCM 센서이다. 보통 듀얼센서를 사용하거나 6, 12개 짜리 멀티 센서를 사용한다. 거의 대부분의 박막은 듀얼센서로 커버가 되지만, 극단적인 두께를 사용하거나, 벤트가 용이하지 않은 시스템이라면, 6, 12개 그 이상의 센서가 필요 할 수도 있다. 듀얼 센서이상의 멀티 센서를 제어하는 경우 가장 중요한 고려 사항이 몇가지 있다. 우선은 가장 중요한 것이 센서의 교대 시간이 짧아야 한다는 점이다. 사람이 손으로 파워를 제어하면서 올리는 경우라면, 크게 문제 될 것은 없지만, 자동으로 증착 속도를 제어하는 경우라면, 센서의 교대 시간은 굉장히 큰 이슈가 된다. 센서 교대 시간은 차로 치면, 눈을 감고 운전하는 것과 다르지 ..