엔지니어링(196)
-
랩뷰에서 도구 팔레트 컨트롤 참고
랩뷰 환경에서 편집을 하기 위해서는 필요한 도구를 사용해야 합니다. 쉬프트 키를 누른 상태에서 오른쪽 마우스를 누르면 툴팔레트가 바로 나옵니다. 거기에서 필요한 도구를 선택해서 사용하면 되지요.스페이스 키를 누르면 기본적으로 화살표와 와이어가 왔다갔다 합니다.저 같은 경우에는 자동 도구 선택을 비활성화해서 사용합니다. 비활성화 상태에서는 Tab 키를 이용하면 됩니다. 랩뷰 단축키 참고
2024.09.03 -
박막 필름을 만드는 증착 기술의 분류
마이크로 전자 장치를 제조하는 데 사용되는 박막은 모두 일종의 증착 기술을 사용하며, 여기서 사용하는 용어는 기판에 증착물을 형성하는 것을 말합니다. 반도체 장치 제조에서 사용 되고 있는 증착 기술(일반적으로 사용되는 약어와 함께)은 다음과 같습니다.저압 화학 기상 증착 - LPCVD플라스마 강화 화학 기상 증착 - PECVD Sub-Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition - SACVD대기압 화학 기상 증착 - APCVD원자층 증착 - ALD물리 기상 증착 - PVD초고진공 화학기상증착 - UHV-CVD Diamond-Like Carbon - DLC Commercial Film - CF에피택셜 증착 - Epi참고 사이트https://www.mks.com..
2024.08.28 -
진공 게이지 선택 가이드라인 참고
울박 진공 게이지 선택 가이드 라인 참고https://showcase.ulvac.co.jp/en/how-to/selection-guide/vacuum-gauge-guide.html Vacuum gauge|How to Choose The Best Products|How to|ULVAC SHOWCASEshowcase.ulvac.co.jp압력 범위에 따른 선택 가이드를 제시하고 있다.레스커의 게이지 선택 사이트 참고https://www.lesker.com/newweb/gauges/gauges_technicalnotes_1.cfm Kurt J. Lesker CompanyEnabling Technology for a Better Worldwww.lesker.com기계식 게이지(Mechanical Gauge)가스의..
2024.08.27 -
이빔 15cc 이하의 소스로 귀금속 증착을 원하는 경우
요즘 귀금속, 특히 금이나 Pt, 팔라듐 같은 소스와 희귀 금속의 값이 천정지부로 솓구치고 있다.이런 증착 소스의 비용 증가는 박막을 증착하는 사용자에게 큰 부담으로 다가 오고 있다.그래서, 최근에는 소스의 소모량을 줄이고, 쉴드 커버등의 크리닝을 통한 회수양의 증가와 편이성을 고려하기도 한다.무엇보다도 한번에 채워 넣는 소스양과 비용에 부담을 많이 느끼기 때문에, 15cc이상의 이빔을 사용하는 경우에는 라이너의 내부크기를 조절해서 소스 충전양을 줄이기도 한다.가장 손쉽게 줄이는 방법은 내부의 소스 들어가는 부분을 줄이는 것이다.규격대로 축소한다면 다음의 표를 따르면 된다.하지만 물질에 따라서 스윕이 중요한 경우에는 특별히 깊이를 줄이고, 넓게 소스를 퍼지게끔 하기도 하고,스윕없이 포인트 스팟으로 증착을..
2024.08.23 -
크라이오펌프 산소 사용시 주의 사항 확인
1. 압력에 대한 경고크라이오 펌프는 펌프 내부에 대량의 응축성 기체를 저장하고 있습니다. 따라서 밀폐 된 상태의 크라이오 펌프를 승온 시키는 경우에는 내부의 압력이 크게 상승하여 폭발의 위험성이 있습니다. 폭발을 방지하기 위해 크라이오 펌프는 약 10KPa~20KPa에서 완전히 열리는 체크 감압 밸브가 설치 되어 있습니다. 크라 이오 펌프를 안전하게 사용하기 위해서는 다음 사항을 준수 해야 합니다.• 감압 밸브를 차단하지 않는다. • 감압 밸브의 스프링을 강화하지 않는다. • 펌핑 용도로 사용하지 않는다. • 감압 밸브를 배기 라인에 연결한다. • 크라이오 펌프 재생 등을 진행하면서 감압 밸브를 청소한다. • 유독 가스를 사용하는 경우 적절한 처리 시설로 이어지는 배기관을 감압 밸브에 설치하여 누설을 ..
2024.07.16 -
광섬유 온도 센서에 대해서
참고사이트https://www.advancedenergy.com/ko-kr/products/sense-and-measurement/thermal-sensing/fiber-optic-sensors/?bz-page=1&bz-results-per-page=10 Fiber Optic SensorsAdvanced Energy offers highly reliable and precise fiber optic sensors for temperature measurement and sensing applications.www.advancedenergy.com광섬유는 기본적으로 광파이프 입니다. 광섬유 써모미터로 알려진 센서들은 보통 블랙바디 방사선 물리학에 활용되는 고온 측정 장비들을 말합니다.저온( max 섭씨 4..
2024.07.04