알루미늄 구리 등 스퍼터링 하면서 변색 되는 경우

알루미늄이나 구리 같은 것을 스퍼터링 하다보면 뿌옇게 나오거나 변색되는 경우가 있다.

이런 경우에는 스퍼터링 되면서 발생하는 온도 요소와 산소와의 반응으로 인해 변색되거나 뿌옇게 나온다.

온도요소를 줄여야 하는데, 순간 엄청나게 빠른 속도로 증착하거나,

공정 파워를 낮추어서 여러 건으로 증착을 하거나,

히터 사용을 하지 않는 것이 좋다.