Vacuum Grease(진공그리스, 진공그리즈) 사용 관련 정리

진공 장비에서 사용하는 윤활제는 3가지 정도가 있습니다.

1. 진공용 오일, 그리즈(Oil, Grease)
2. 고체 윤활제
3. 자기 윤활성 복합제

진공 장비에 사용되는 윤활제는 증기압이 낮은 진공 펌프 작동유가 사용되고, 허용되는 압력에 따라 오일의 종류를 분류하여 사용합니다.

진공 그리즈(Grease)는 탄화수소계(E-3 Pa), 불소계(E-6 Pa) 합성유를 기본으로 만들어지고 있습니다.
이보다 더 높은 수준의 것으로는 불소계 폼블린 제품이 있습니다.

고체 윤활제는 MoS2, WS2, C, BN, AU, AG, PTEF(테프론) 등이 있습니다. 오일, 그리즈에 비해 방출 가스가 적고, 넓은 온도의 범위에서 사용이 가능합니다.
금속, 금속화합물의 경우에는 500도 미만의 온도 범위에서 사용 가능하며, PTEF는 200도 정도의 온도 범위에서 사용가능합니다.
고체 윤활제의 분말을 결합제와 섞어 구동면에 부착하여 고체 윤활막을 만듭니다. 결합제를 사용하지 않고 이온 플레팅이나 스퍼터링법을 이용하여 피막을 만드는 방법도 있습니다.

자기 윤활성 복합제는 금속계와 고분자계가 있습니다. 금속계는 금속과 고체 윤활제를 소결해서 만듭니다. 고분자계는 테프론이나 폴리메이드 강화섬유를 첨가해서 만듭니다.

진공 장비에서 윤활제를 사용할 때 주의점은 다음과 같습니다.

1. 오일이나 그리즈는 사용 온도가 낮아서 고온이 되면 가스 방출이나 분해를 일으켜서 진공 장비를 오염시킬 수 있습니다.
2. 장기간 대기중에 보관되어 있는 그리즈는 수증기를 함유하고 있을 수 있습니다. 사용 초기에 흡입되어 있는 가스를 방출 시켜 주는 것이 좋습니다.
3. 분말 상태의 고체 윤활제가 진공중에 비산되면서 DUST 발생의 원인이 됩니다. 소프트 펌핑, 베플 사용 등의 대책이 필요합니다.

 

판매하는 그리즈의 종류 참고

https://www.lesker.com/newweb/vacuumfluids.cfm?section=vacuumgreases 

Kurt J. Lesker Company

 

https://www.moresco.co.jp/en/products/vacuum_pump_oil.php#sub08_cat

High Vacuum Pump Oil | Products || MORESCO Corporation