2025. 4. 4. 13:18ㆍ엔지니어링
TiO₂(이산화 티타늄)는 이미 완전히 산화된 형태의 티타늄 화합물입니다. 따라서 일반적인 의미에서 TiO₂는 더 이상 산화되지 않습니다.
하지만 관련해서 다음과 같은 내용을 참고할 수 있습니다:
1. Ti의 산화 과정
티타늄(Ti)은 공기 중에서 자연스럽게 산화되어 TiO, Ti₂O₃, TiO₂ 등의 산화물을 형성합니다. 이 중에서 TiO₂는 가장 안정적인 산화 상태로, 티타늄의 +4 산화 상태를 가집니다.

Ti 산화물의 주요 특징 요약
- 🔸 Ti⁴⁺ (TiO₂): 가장 안정. 절연체. 광촉매 활성이 있음. 흰색.
- 🔸 Ti³⁺ (Ti₂O₃, 일부 Ti₃O₅): 도전성 있음. 산화되기 쉬움. 자주색 계열.
- 🔸 Ti²⁺ (TiO): 드물고 매우 불안정. 금속성.
요약
- Ti⁴⁺ → Ti³⁺ → Ti²⁺ 로 갈수록 전도성이 높아지고 색이 진해짐.
- 산화되면 Ti³⁺, Ti²⁺는 다시 Ti⁴⁺로 변환, 즉 TiO₂로 돌아감.
- 산소 결함이 많아질수록 검은색 + 도전성 + 가시광 반응성이 생깁니다.
2. TiO₂의 특성
- 산화방지막 역할: 티타늄 금속 표면에 자연스럽게 형성되어 내부 금속을 보호함.
- 광촉매 특성: 빛(특히 자외선)을 받으면 전자-정공 쌍을 만들어 유기물 분해, 항균, 탈취 등에 사용됨.
- 안정성: 매우 안정해서 일반적인 조건에서 더 이상 산화되지 않음.
3. 특수 조건 하에서의 반응
TiO₂ 자체는 산화되지 않지만, 다음과 같은 조건에서는 변화가 있을 수 있습니다:
- 환원 반응: 고온에서 탄소나 수소 등의 환원제로 Ti₂O₃, TiO 등으로 환원될 수 있음.
- 도핑 (Doping): N, Fe 등과 같은 원소를 도핑하여 전자 구조 및 광특성을 변화시킬 수 있음.
TiO2색
TiO₂(이산화 티타늄)의 색은 일반적으로 다음과 같습니다:
1. 순수 TiO₂의 색상
- 백색 (흰색)
→ 광택이 강한 순수한 흰색으로, 세라믹, 화장품, 페인트, 종이 등에 백색 안료로 널리 사용됩니다.
→ 주로 사용되는 안료 등급의 TiO₂는 두 가지 결정 구조 중 하나입니다:- 루틸형 (Rutile): 밝고 광택이 좋음, 내후성 우수
- 아나타제형 (Anatase): 약간 푸른빛이 돌 수 있으며, 광촉매 특성 우수
2. 도핑되거나 불순물이 있을 경우 색 변화
- TiO₂에 **전이금속(Fe, Cr, V 등)**이나 질소, 탄소 등 비금속을 도핑하면 색이 달라질 수 있습니다.
- 예:
- Fe-doped TiO₂: 갈색 또는 노란빛
- N-doped TiO₂: 연노랑 ~ 갈색
- 산소 결함이 많은 TiO₂: 회색 또는 푸른색
- 예:
3. 광학적 특성
- 높은 굴절률(루틸형 기준 2.7 이상) 덕분에 불투명하며 빛을 강하게 산란시켜 선명한 흰색을 냅니다.
- 자외선 흡수 성질로 자외선 차단제 등에 사용되지만, 가시광선은 대부분 반사해서 흰색으로 보입니다.
실제 색상 느낌 (비유하자면)
- 루틸형 TiO₂
→ 눈부시게 밝은 흰색, 약간 아이보리 느낌
→ 덧바르면 더 불투명함, 광택이 잘 남 - 아나타제형 TiO₂
→ 깨끗한 푸르스름한 흰색, 약간 차가운 느낌
→ 얇게 펴 바르면 약간 투명함
🔬 박막일 때의 색상
- 루틸형 박막: 더 진한 간섭색, 더 강한 무지개빛
- 아나타제형 박막: 연한 보라~파란색 계열 간섭색
이 차이는 광학 코팅, 간섭 필름, 센서 등에서 중요한 포인트입니다.
TiO₂ 박막의 색은 벌크 TiO₂와 달리 두께, 기판, 결정 구조, 산소 결함, 간섭 효과 등에 따라 다양한 색상으로 보일 수 있습니다.
1. 기본적으로는 무색/투명
- TiO₂는 **밴드갭이 넓은 절연체(루틸형 ~3.0 eV, 아나타제형 ~3.2 eV)**이기 때문에, 얇게 증착하면 투명하거나 약간 흰색~연회색입니다.
- 그러나, 박막일 경우엔 빛의 간섭(interference) 현상 때문에 다양한 색이 나타날 수 있습니다.
2. 간섭 색상 (Interference Colors)
- 박막 두께가 수십~수백 nm 정도일 경우, 빛이 박막 내부에서 반사되며 간섭현상을 일으킵니다.
- 이로 인해 무지개색, 보라, 파랑, 노랑, 분홍 등 다양한 색상이 나타날 수 있습니다.
- 간섭 색상은 다음에 따라 달라집니다:
- 박막의 두께
- 입사광의 파장 (광원 종류)
- 관측 각도
- 기판 재질 (예: Si, 유리 등)
3. 산소 결함, 도핑, 열처리 영향
- **산소 결함(Oxygen vacancy)**이 많아지면 청회색~검은색으로 보일 수 있음.
- 감압/고온 열처리로 TiO₂-x 상태가 되면, 박막 색이 어두워짐.
- 도핑(Ta, N, Nb 등) 시에 색이 노란색
갈색푸른색으로 변할 수 있음.
4. 실제 예시
- 투명한 유리 위의 TiO₂ 박막 → 무색, 푸른빛 간섭
- Si 기판 위에 100nm TiO₂ 증착 → 파란색 또는 보라색 계열
- 산소 결함 많은 TiO₂ 박막 → 회색~검정
- 질소 도핑한 박막 (N-TiO₂) → 연노랑~황갈색

**검은색 TiO₂ (Black TiO₂)**는 일반적인 흰색 TiO₂와는 달리 특별한 구조적/화학적 결함을 가진 형태입니다. 최근에는 광촉매 성능 향상, 태양광 흡수 개선, 전기화학 소자 등에 많이 연구되고 있습니다.
1. 검은색 TiO₂란?
- 일반적으로 TiO₂는 흰색 또는 투명하지만, 결함이나 불완전한 산화 상태를 만들면 검게 변할 수 있습니다.
- 이를 Black TiO₂ 또는 **TiO₂₋ₓ (x는 산소 결함 정도)**라고 부릅니다.
2. 왜 검은색이 되는가? (색의 원인)
- 검은색 TiO₂는 밴드갭이 줄어들거나, **결함 상태(Donor States)**가 생기며, 가시광선 영역의 흡수가 증가합니다.
- 주요 원인:
- 산소 결함(Oxygen Vacancies)
- Ti³⁺ 상태의 존재 (일부 Ti⁴⁺ → Ti³⁺로 환원됨)
- 아몰퍼스/결정 혼합 구조
- 비금속 도핑 (N, C, H 등)
3. 제조 방법
- 환원 처리 (감압 or 수소 분위기 고온 열처리)
→ 예: 500–700°C에서 수소 가스 처리 - 플라즈마 처리
- 화학적 환원제 사용 (예: NaBH₄, H₂ 등)
- 레이저 또는 고에너지 이온 조사
4. 특징 및 응용
- 가시광 흡수 가능 → 일반 TiO₂보다 광촉매 반응 효율이 뛰어남 (특히 태양광 활용)
- **에너지 소자 (배터리, 슈퍼커패시터 등)**에 사용 가능
- 전자전도도 증가 → 전극 소재로 적합
5. 색상 및 외형
- 완전한 블랙은 아니고, 매우 짙은 회색~검은색입니다.
- 표면이 메탈릭하게 보이기도 함.
검은색 TiO₂ 박막은 산소 결함이나 Ti³⁺ 상태 등으로 인해 일반 TiO₂보다 불안정한 면이 있으며, 산화 환경에서 다시 백색 TiO₂로 되돌아갈 수 있습니다.
1. 검은색 TiO₂ 박막의 산화란?
검은색 TiO₂는 일반적으로 다음 두 가지를 포함합니다:
- 산소 결함 (Oxygen vacancy)
- Ti³⁺ (부분 환원된 상태)
이 박막을 공기 중 또는 고온 산소 분위기에서 처리하면:
- Ti³⁺ → Ti⁴⁺로 산화
- 산소 결함 → 다시 산소가 채워짐 → 이로 인해 밴드갭이 다시 넓어지고, 색이 점점 연해지며, 흰색~투명한 TiO₂로 회복됩니다.
2. 산화 조건
산화는 다음과 같은 조건에서 진행됩니다:
- 공기 중 고온 (300~600°C) 열처리
- O₂ 플라즈마 처리
- 산화 분위기의 Annealing (예: O₂, O₃, 공기)
특히 400°C 이상의 열처리 시에는 검은색이 급격히 줄어들고, 박막이 백색 또는 무색으로 변화할 수 있습니다.
3. 산화 시 변화하는 특성
색 | 검은색 → 회색 → 백색 |
Ti 상태 | Ti³⁺ → Ti⁴⁺ |
결함 밀도 | 낮아짐 |
전기 전도성 | 감소 |
광흡수 | 가시광선 흡수 줄어듦 |
광촉매 활성 (가시광 기반) | 감소 가능 |
4. 응용상 주의점
검은색 TiO₂ 박막을 사용하는 응용(예: 광촉매, 광전 소자 등)에서는:
- 산화 방지 코팅 또는
- 산화가 일어나지 않는 환경 유지 가 필요합니다.
**E-beam으로 증착한 TiO₂ 박막(예: 100nm)**은 증착 조건에 따라 산화될 가능성이 있습니다.
하지만 여기서 말하는 "산화"는 추가 산화(재산화) 또는 산소 결함 회복이라는 의미로 이해해야 해요.

왜 E-beam 증착 TiO₂는 산화가 필요한가?
E-beam 증착은 일반적으로 다음과 같은 한계가 있습니다:
- 진공 분위기에서 증착 → 산소가 부족할 수 있음
- TiO₂가 증발하면서 일부 Ti가 환원됨 → TiO₂₋ₓ 형성
- 결과적으로, 박막 내에:
- 산소 결함 (Vo)
- Ti³⁺ 상태
- 불완전한 결정 구조 가 포함될 수 있습니다.
→ 이 상태의 TiO₂는 산소 분위기 또는 공기 중 열처리 시 "산화"될 수 있음
E-beam으로 증착한 TiO₂ 100nm 박막이 만약 산소 결함을 포함한 상태라면,
그것은 공기, 고온, 플라즈마 등 산화 환경에서 재산화될 수 있습니다.
→ 색이 연해지고, 성질이 TiO₂ 본연의 절연성과 광학 특성으로 회복됩니다.
E-beam으로 증착한 TiO₂ 박막이 상온 공기 중에서 산화될 수 있는가?
✅ 답변:
부분적으로 가능하나, 완전한 산화(결함 회복 또는 결정화)는 어렵습니다.
📌 상세 설명:
1. E-beam 증착한 TiO₂의 상태
- E-beam 증착은 고진공 상태에서 이뤄지므로, 산소가 부족한 조건에서 증착됩니다.
- 이때 형성되는 TiO₂는 다음과 같은 문제를 가질 수 있어요:
- Ti³⁺ 상태 존재 (불완전 산화)
- 산소 결함 (Oxygen Vacancy, Vo)
- 비정질 또는 저결정성
2. 상온 공기 노출 시 무슨 일이 일어나는가?
Ti³⁺ 산화 | 일부 Ti³⁺ → Ti⁴⁺로 산화될 수 있음 (산소가 반응함) |
산소 결함 회복 | 표면에서 극히 일부만 회복, 깊은 층은 그대로 |
결정성 변화 | 불가능 (상온에서는 결정화가 일어나지 않음) |
색상 변화 | 장기간(며칠~수주) 노출 시 표면만 약간 밝아질 수 있음 |
→ 즉, "표면 산화"는 부분적으로 가능하지만, 전반적인 산화 상태 회복이나 결정 구조 개선은 상온 공기만으로는 어렵습니다.
3. 🌡️ 산화 활성화를 위한 조건
300°C 이상 열처리 + 공기 or O₂ 분위기 | 결함 회복 + 결정화 + 산화 완성 |
산소 플라즈마 처리 (저온에서도 가능) | 표면 산소화에 효과적 |
O₃ (오존) 처리 | 상온에서도 산화력이 높아 일부 개선 가능 |
🧪 요약
Ti³⁺ → Ti⁴⁺ | 부분 가능 (느리게 진행) |
산소 결함 회복 | 표면 일부 가능, 제한적 |
비정질 → 결정화 | ❌ 불가능 |
색상 변화 | 약간 밝아질 수 있음 (장기간 노출 시) |
필요하시면, 상온 vs 열처리 후의 XPS, UV-Vis 스펙트럼 비교 예시도 제공해드릴 수 있어요.
혹시 지금 박막의 산화를 상온에서 해결하고 싶으신 건가요, 아니면 최소한의 열처리로 개선하고 싶은 상황인가요?
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