2020. 3. 31. 09:51ㆍ엔지니어링
참고 자료
https://kr.rigaku-mechatronics.com/technology/
자성 유체 씰 은 액체나 기체의 누출을 방지하기 위해 사용되는 부품이며 하나의 씰 입니다.
자성 유체 씰은 “자성 유체”라는 자석 쪽으로 끌리는 이상한 액체 자기장으로 유지되는 성질을 이용하여 액체와 베어링을 같이 조합밀봉하여 제작한 회전용 씰 뉴-닛 입니다.
자성 유체의 성분과 재질에 대해 관심을 갖고 계신 고객은 자성 유체 란? 에 자세한 설명이 되어 있습니다.
씰 (밀봉유닛)에는 다양한 종류 · 특징 들이 있습니다.
씰의 분류에 대한 해설이 별도로 준비되어 있으므로 참조하십시오.
Basic structure of a Rotary Feedthrough
자성 유체 씰의 기본 구조
자성 유체 씰은 회전축 (샤프트)와 폴 피스의 틈새에 자석에 의해 형성되는 자속 선을 따라 자성 유체를 유지하고 있습니다.
자력에 의해 틈새에 머무는 자성 유체는 압력 차가 있어 도 흘러 다니지 않고 액상의 오링과 같은 역할을 합니다.자성 유체가 유지되는 힘은 자력에 의해 결정되며 자력이 강하면 강할수록 자성 유체 링의 내압은 커집니다.
이 자성 유체 링을 복수 단으로 형성함으로써 큰 압력에도 견딜 수 있는 자성 유체 씰이 만들어집니다.자성 유체 씰은 액체에 의해 봉인되어 있으며 고체 간의 접촉이 없기 때문에 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.
- 청정도 : 씰에 액체를 사용하기 때문에 회전축과 폴 피스 사이에 고체 간의 접촉이 없어서 마찰에 의한 파티클이 발생하지 않습니다.
- 고진공 : 낮은 증기압의 자성 유체를 사용하여 10 -6 Pa 이하의 초고 진공 영역에서도 사용 가능합니다.
- 긴수명 : 회전축과 폴 피스 사이에 고체 간의 접촉이 없기 때문에 마찰에 의한 양면의 마모가 없고, Lower Cost관리로 긴 수명의 씰링을 실현 할 수 있습니다.
- 기타 : 액체로 밀봉하기 때문에 손실 토크가 적고, 고속 회전도 가능합니다.
Rigaku는 뛰어난 특징을 갖고있는 자성 유체 씰의 자기 회로를 독자적으로 개발하여 보다 강력한 자성 유체 씰 “자기 씰” 을 개발했습니다.
깨끗한 진공 만들기를 실현하는 Rigaku 자기 씰 유니트의 우수성은 Rigaku 자체의 자기 회로 에서확인 하실 수 있습니다.
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씰은 액체와 기체의 누출이나 외부로부터의 이물질의 유입을 방지하기 위해 사용되는 부품의 총칭입니다.
씰을 기능으로 크게 분류하면 운동용과 고정 용으로 나눌 수 있습니다.
운동 용 씰은 회전 또는 왕복 운동과 같은 운동 부분의 밀봉에 사용되는 실의 총칭으로 “패킹”이라고도 합니다.
한편, 고정 용 씰은 예를 들면 배관 플랜지와 같은 정지 부분의 밀봉에 사용되는 씰의 총칭으로 “가스켓”이라고 합니다.
운동 용 씰에는 다양한 종류가 있지만 진공 상태로 회전 도입에 사용하는 대표적인 씰은 자성 유체 씰 , 오일씰 (윌슨 실), 오링 씰, 벨로우즈 씰, 마그넷 커플 링 씰 5 종류입니다.
각각 씰에 대한 원리 · 구조 · 특징 등의 자세한 정보는 대표적인 운동 용 진공 씰 을 참조하십시오.
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오링 씰
원리
오링을 홈 부분에 장착하여 적당하게 압축함으로써 발생하는 고무의 반발력 (접촉 압력)로 씰링을 하고 있습니다.
장점
장착 부분 용적이 작기 때문에 작은 공간으로 됩니다.
간단한 구조이기 때문에 비교적 많은 진공 기기에 채용되고 있습니다.
단점
고무와 회전축의 접촉 압력에 의해 씰을 하기 때문에 회전 저항이 매우 커집니다. 또한 마모가 많기 때문에 수명이 짧습니다.
오일 씰 (윌슨 씰)
원리
오일 씰은 고무로 된 선단부와 금속 보강 링 스프링으로 구성되어 있습니다. 스프링에 의해 선단부 끝이 회전축을 눌러주는 구조로 씰링을 하고 있습니다.
장점
구조가 간단하기 때문에 비교적 취급이 쉽다.
축 편심량이 큰 곳이나 고속영역 등 비교적 광범위하게 사용할 수 있습니다.
단점
그리스 또는 오일이 충전되어 있기 때문에 유분이 새어서 주위를 오염시킬 수 있습니다.
고무 및 회전축의 접촉 압력에 의해 씰링을 하기 때문에 마찰에 의한 파티클이 생기고 그다지 수명이 길지 않습니다.
자성 유체 씰
원리
회전축 (샤프트)와 폴 피스의 틈새에 자석에 의해 형성되는 자속 선을 따라 자성 유체를 유지하고 있습니다. 자력에 의해 틈새에 유지 된 자성 유체는 압력 차가 있어도 흘러 나오지 않기 때문에 액상의 오링과 같은 역할을 하는 밀봉을 하고 있습니다.
장점
액체에 의해 밀봉되어 있기 때문에 고체 간의 접촉이 없습니다. 따라서 마찰이 없고 수명이 길고 파티클이 발생하지 않는 고속 회전도 가능하다는 특징입니다. 또한 진공 측 베어링을 대기 측으로 옮겨 캔틸레버 구조로 함으로써 더욱 깨끗한 환경을 제공 할 수 있습니다.
단점
회전 운동용 씰이므로 직진방향의 씰링은 할 수 없습니다.
또한 액체를 씰링 할 수 없습니다. 씰 내부에 액체가 들어가거나 자성 유체 부근에서 액체가 응집 (결로) 되는 것과 같은 조건에서는 씰 수명이 짧아집니다.
벨로우즈 씰
원리
벨로우즈의 탄력을 이용하여 대기 측 축에서 진공 측 축에 회전 동력을 전달하고 있습니다.
장점
진공 측과 대기 측이 용접 벨로우즈로 차단되어 있어 고무를 사용하지 않기 때문에 고온에서 베이킹을 할 수 있습니다. 초 고진공 장치에도 이용되고 있습니다.
단점
벨로우즈과 용접부가 반복 신축 및 비틀림 힘을 받기 때문에 피로 파괴에 의한 수명이 문제가 됩니다. 또한 진공 측에 반드시 베어링이 필요합니다.
마그넷 커플링씰
원리
대기 측과 진공 측을 얇은 격벽으로 덮고 격벽을 통해 대기 측에 배치 된 자석의 자력으로 진공 측의 축을 회전시키는 방식입니다.
장점
진공 측과 대기 측이 비자성 격벽으로 차단되어 있어 고무를 사용하지 않기 때문에 고온에서 베이킹을 할 수 있습니다. 초고 진공 장치에도 이용되고 있습니다.
단점
동력의 전달이 자기이기 때문에 부하가 크면 공회전 합니다. 또한 진공 측에 반드시 베어링이 필요합니다.
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증기압곡선 사용상의주의
증기압곡선은 자석 씰-동작과 수명을 보장하는 것은 아닙니다.
자성 유체의 포화 증기압보다 2 자리 정도 높은 압력에서의 사용을 권장합니다.
사용 예 : 자기 씰 장착 부분의 온도가 100 ℃ 인 경우
- 활성 가스 대응 자성 유체는 10 -3 Pa 보다 높은 압력에서의 사용을 권장합니다.
- 고온 활성 가스 대응 자성 유체는 10 -7 Pa 보다 높은 압력에서의 사용을 권장합니다.
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