스퍼터 타겟 본딩에 인듐을 사용하는 이유는 무엇인가

스퍼터 타겟을 본딩하는데 적당한 물질로는 인듐이 있다.

인듐은 정방정계결정구조를 갖고 있는 물질이다. 평면에서 쌍을 이루거나 미끄러질 수 있다. 이것은 인듐이 Z 또는 수평 방향으로 분리되지 않고 측면으로 이동 할 수 있는 특징이 있음을 의미한다.

 이러한 물리적 특성은 두가지 서로 다른 물질을 부착 시켰을 때, 개별 팽창 계수를 기준으로 부착면에서 서로 다른 팽창 및 수축을 할 수 있다는 것을 의미하기도 한다. 이러한 특징은 재료에 높은 응력이나 변형을 유발하지 않기 때문에 부착되어 있는 물질의 파손, 균열, 변형을 방지 할 수 있는 것이다. 스퍼터의 구조상 백플레이트 냉각 면과 증착 타겟의 표면이 플라즈마의 에너지로 인해 스트레스 받는 것을 생각한다면, 이러한 인듐의 특성은 아주 유용한 것이다.

 그리고, 인듐은 전기전도도가 높아서 타겟에 파워를 전달하고, 냉각을 위한 열 전달에 매우 큰 장점을 갖고 있다.

 무엇보다도, 진공 장비에서 가장 중요한 증기압이 낮기 때문에 아웃개싱에서 큰 장점이 있다.

 그러나, 인듐의 녹는점이 156도 낮은 편에 속하기 때문에 고온이 발생하고 냉각을 해주기 어려운 환경이라면 사용에 어려움이 있다.

 인듐이외에도 2개의 다른 물질을 접합하는데 사용하는 물질은 주석, 납 등이 있으며, 인듐보다는 비교적 고온인 230도 300도 정도에서 사용이 가능하다.