팔라듐 증착과 난융금속에 대해서

팔라듐을 이빔으로 증착하면서, 라이너에 문제가 발생하는 경우가 많습니다.

발생하는 문제는 알루미늄과 비슷한 증상을 보입니다.

문제 발생의 원인은 반응성에 있습니다.

알루미늄과 마찬가지로 라이너와 반응하면서 합금이 되고, 달라붙으면서 문제가 발생하게 됩니다.

가장 쉽게 관찰되는 현상은 라이너에 구멍이 생기거나, 깨지는 현상입니다.

그리고, 증착 속도의 변화와 증착 물성의 변화 등이 있을 수 있습니다.

 

팔라듐 역시 알루미늄처럼 사용하는 라이너와 반응을 하면서 문제가 발생하는 것입니다.

녹는점이 높아서 텅스텐을 많이 사용하는데, 별로 좋은 결과는 얻기 힘들다고 봅니다.

텅스텐, 몰리, 탄탈 등 난융금속과 반응을 하기 때문이지요.

 

[난융금속, refractory metal]

녹는점이 철보다 높은 금속을 말합니다. 내화금속이라고도 하며, 내열합금은 니켈이나 코발트의 합금을 많이 사용합니다.

니오브, 바나듐, 탄탈, 타이타늄, 지르코늄, 하프늄, 몰리브덴, 레늄, 텅스텐 등이 이 부류에 속합니다.

반대말은 가융합금입니다.

 

어차피 깨질 것이라면 그라파이트 도가니에 담아서 몇 번 쓰다가 깨진 상태로 사용하는 것도 나쁘지는 않습니다.

그리고, 세라믹 도가니를 사용한다면, Al2O3 도가니를 사용 할 수 있습니다. 그러나 이것 역시 몇번 쓰다가 보면 깨지고, 그사이로 스며 나오게 되어 있습니다. 사실 그냥 이상태로 사용해도 큰 문제는 없습니다.

 

결국, 가장 이상적인 이빔을 이용한 팔라듐 증착 방법은 라이너 없이 증착하는 것입니다.