RIE 공정에서 조건에 따른 기본적인 경향성
2018. 12. 21. 10:21ㆍ엔지니어링
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RIE 에칭 공정에서 조건에 따른 기본적인 경향성은 다음과 같습니다.
1. self-bias 파워를 확인 합니다.
2. 공정 압력이 줄어 들면서 바이어스 전압이 상승합니다.
3. 공정 유량이 증가하면서 동일한 압력에서 바이어스 전압은 감소 합니다.
4. 파워가 증가하면서 바이어스 전압이 상승합니다.
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