CVD 장비에 사용 가능한 게이지 조합 추천
2021. 3. 30. 17:07ㆍ엔지니어링
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고진공 범위까지 사용하는 CVD 장비에 적절한 게이지를 사용하지 않으면, 계속 불량나고 망가지는 일이 발생합니다.
적합한 게이지를 선택하는 것은 매우 중요합니다.
1, 컨트롤러
MX200 Vacuum Controller
2. 저진공 게이지
4A Convection Gauge
3. 고진공 게이지
7FC Double Inverted Magnetron Cleanable Cold Cathode Sensor
CVD 장비나 에칭 장비는 증착하면서 발생하는 파우더에 영향을 받기도 하고, 가스와 반응하기도 한다.
그리고, 챔버 크리닝 가스에도 오염되거나 문제가 발생할 가능성이 높다.
내구성이 있고, 오염에 강하면서 크리닝이 손쉬운 게이지를 선택하는 것이 중요하다.
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