박막장비의 균일도 계산에 대한 생각

[개념] 박막의 특성을 평가하는 여러 요소중에 하나가 두께의 균일도를 평가하는 방법이다. [용어의 이해] 현장에서 보통 균일도(Uniformity %)라고 하는데, 이것은 엄밀하게 이야기 하면, 비균일도를 의미한다.균일도가 ±5%라는 것은 기준 두께에서 ±5%가 더 두껍거나, 얇다는 것을 의미한다.95%의 박막은 기준 두께에서 균일하다는 것을 의미한다. [계산 방식] 박막 공정에서 균일도를 계산하는 방식은 여러가지가 있다.보통은 다음의 3가지 방식이 가장 많이 사용된다.최대-최소 방식의 변형Uniformity(5) = (Max Thickness - Min Thickness)/(2 X Average Thickness)X100 ※ 최대-최소 두께 기준 균일도의 특징장점계산이 간단: 최대값과 최소값만 필요하므..

2025.02.11