[가스][스퍼터] PH3에 사용 가능한 실링 재료

1.     오링 및 구리 재질의 챔버 실링재료의 검토 기준1)     포스핀 가스의 플라즈마에 대한 내화학성 검토2)     포스핀 가스의 플라즈마 및 히터 등 공정에 따른 내열성 검토3)     포스핀 가스의 플라즈마 저항성4)     챔버 실링의 압력 및 기밀성 검토5)     재사용 및 가격 검토 2.     O-Ring 실링에 대한 검토1)      내화학성과 내열성이 우수하며, 최대 200~250° C까지 견딜 수 있음.2)      대부분의 가스 및 화학 물질에 감함, 포스핀과의 반응성 없음.3)      플라즈마에 장시간 노출 될 경우 열화 가능성이 있으나, 포스핀 환경에서는 안정적.4)      설치가 용이하며, 밀폐 성능이 우수함.5)      재사용이 용이함.6)      다른 실링 ..

2024.11.22