플라즈마의 상태를 확인 하는 방법

반도체 및 디스플레이 신재생에너지, 핵융합 등 플라즈마의 이용 분야는 매우 광범위하고 최첨단 산업의 깊숙한 곳까지 기술이 이용되고 있다. 특히 미세공정이 주를 이루는 반도체, 디스플레이 등등의 산업에서는 플라즈마의 제어와 특성 파악이 제품의 품질에 많은 영향을 주기 때문에 플라즈마의 상태를 확인하는 것이 매우 중요하다. 예를 들면, 반도체 식각 공정에서 발생하는 전하의 축적 현상, closing, distortion, not-open, 표면 거칠기 심화 등등의 이슈와 웨이퍼 외곽쪽의 전기, 화학, 열적 불균형으로 인한 균일도 저하, 수율 저하 등의 문제를 생각해 볼 수 있다. 이것을 해결하기 위해서는 공정에 사용하는 플라즈마의 물성 이해와 그것을 통한 문제의 해결 방안을 모색하는 것이 필요하다. 플라즈마..

2022.02.09