리튬 니오베이트(LiNbO3 ) 스퍼터링 타겟

LiNbO₃(리튬 나이오베이트, Lithium Niobate)는 강유전체(Ferroelectric) 및 압전(Piezoelectric) 성질을 갖는 소재로, 주로 광학 및 전자기 응용에서 사용됩니다. 이 물질은 넓은 광학적 투과 범위(0.35~5 μm), 높은 비선형 광학 계수, 그리고 우수한 전기광학 효과를 가지므로 다양한 첨단 기술에 적용됩니다. 파워는 인치스퀘어당 20W 정도가 최대 파워이다.타겟 본딩을 해야 하고, 파워 램프 업 및 다운이 반드시 필요하다.낮은 온도에서 높은 증기압을 가지고 있어, 챔버와 후속 필름에 영향을 주기때문에, 단독 챔버 사용이 유리하다.다른 타겟과 혼용하는 경우에는 신중하게 접근해야 한다.전체적인 시스템 오염으로 복구가 어려울 수도 있다.보통 2인치 타겟의 경우 0.12..

2025.03.05