PLD 증착 장비에서 무반사(AR) 코팅 퀄츠 글래스를 사용해야 하는 이유

무반사(AR) 코팅 글래스는 말그대로 반사가 되지 않도록 하는 코팅이다. PLD 장비에서 프레넬 반사에 따르면 빛의 경우 공기중에서 빛의 약 4%정도가 반사된다. 투과 되는 빛은 92%정도가 되는 것으로 알려져 있다. 레이저를 사용하는 PLD 시스템은 반사로 인해 레이저 광의 출력이 감소 되고, 레이저 유도 손상을 발생 시킬 수 있다. AR 코팅을 적용하면, 시스템의 출령량이 증가하고, 반사되는 빛이 다시 시스템 내부로 입사 되기 때문에 고스트 이미지를 생성하는 피해를 줄일 수 있다. 이것은 증착률에도 많은 영향을 주게 된다. AR 코팅 박막은 상단 및 하단 경계에서 반사되는 빔 간의 상대적 위상변이가 180도가 되도록 설계된다.

2020.12.17