백금의 일반적인 물질 특성과 응용 백금은 주기율표에 있는 9개의 귀금속 중 하나입니다. 녹는점은 1,772°C, 밀도는 21.4g/cc, 증기압은 1,747°C에서 10 -4 Torr입니다. 팔라듐과 매우 유사한 빛나는 은백색 금속입니다. 밀도가 높고, 가단성이 있고, 연성이며, 공기 중에서 부식에 강합니다. 가장 눈에 띄는 상업적 응용 분야는 차량의 촉매 변환기입니다. 백금은 반도체, 연료전지, 배터리 제조를 위해 진공 상태에서 증발됩니다. 기상증착시스템에서, 보트는 텅스텐을 기본으로 사용하고, 이빔라이너는 그라파이터 라이너로 시작합니다. 타 금속과 합금에 주의해야 하고, 부드럽고 접촉력이 좋지 않아서 박막으로 만들기에 쉽지는 않습니다. 써멀증착... 백금의 써멀 증착은 매우 어렵습니다. 백금을 증발시..

스퍼터 시스템으로 Pt증착을 많이 합니다. 그런데, 가끔 백금 증착하면 박막이 검게 나온다는 경우가 있습니다. 이런 경우는 거의 대부분이 리크가 있는 경우입니다. 단순히 챔버의 리크만 확인하는 것이 아니라, 가스라인의 리크 확인도 해주어야 합니다. 리크가 없는 경우에도 박막이 검게 나오는 경우가 있을 수는 있습니다. 이런 경우는 챔버의 크리닝이 필요한 경우입니다. 이외에도 박막이 검게 나오는 문제가 발생하는 경우는 공정 압력을 너무 높게 하거나, 또는 플라즈마 손상을 입고 있는 경우 일 수도 있습니다. 공정압력은 10mTorr 이하로 유지하면서, 타겟과의 거리를 조금 늘려주는 것이 좋습니다.