이빔으로 니켈이나 백금 박막을 두껍게 올리면 발생하는 분진, 박막 날림 현상을 줄이기 위한 방법

이빔으로 니켈이나 백금 박막을 두껍게 올리면 챔버 벽면에 붙은 박막이 떨어지면서 분진이발생하거나, 박막이 들뜨는 곳에서 박막 필름이 날리는 현상이 발생 하는 경우가 있다. 심한 경우에는 실처럼 성장하는 경우도 있다. ---------------------------------- 이런 것을 막기 위해서는 챔버 벽면이 박막이 성장하는 부분을 샌딩처리해서 접촉을 좋게 해주는 것이 좋다. 히팅을 해주는 것도 하나의 방법이 될 수 있으나, 상당히 높은 고온을 필요로 하므로 그렇게 좋은 방법은 아니다. 여러 물질을 증착하는 경우에는 이런 현상이 비교적 감소 할 수 있으나, 니켈이나 백금 같은 단일 박막을 사용하는 챔버라면 필히 샌딩 처리를 해야 한다.

2019.04.26