오일 펌프 역류 현상과 트랩

반도체 공정뿐만 아니라 많은 산업 영역에서 청결도, 및 불순물의 관리는 매우 중요한 문제로 부각 되고 있습니다. 이런 청결 및 불순물을 해결하기 위한 환경으로 많이 사용되고 있는 것이 진공 분야입니다. 진공 환경에서의 공정은 그 활용범위가 광범위해지고 있으며, 진공환경을 만들기 위한 진공펌프의 사용도 많아지고 있습니다. 진공펌프로 많이 사용되는 것이 기계식 오일 펌프 입니다. 문제는 이런 기계식 오일 펌프는 잠재적으로 오일 역류현상이 발생 할 수 있다는 것 입니다. 오일이 없는 펌프를 사용하면, 간단히 해결 할 수 있는 문제이지만, 경제성 문제로 인한 교체의 어려움이 있을 수 있습니다. 그래서, 선택하는 것이 포어라인 트랩입니다. 포어라인 트랩을 사용하여 잠재적인 오일 역류 현상을 방지 할 수 있습니다...

2019.05.15