ALD 시스템에서 섭스트레이트 바이어스 파워의 효과 참고 자료

섭스트레이트에 바이어스 파워를 인가 했을 때 얻을 수 있는 효과 참고 자료 입니다. 참고사이트 https://www.atomiclimits.com/2018/04/28/plasma-ald-and-substrate-biasing-the-impact-of-energetic-ions-on-film-properties/ Plasma ALD and substrate biasing – The impact of energetic ions on film properties “Plasma ions create electronic defects in sensitive substrates as well as generate a large electronic trap density in deposited films, espec..

2020.06.16