게인값과 리드값 변화에 따른 설정값과 실제값 변화 그래프 예상 스로틀 밸브를 이용한 압력 변화는 챔버 내부의 분압과 흐름이 중요하기 때문에 a 보다는 c 에 근접하도록 제어하는 것이 좋다.

최근에 국내 업체 아토벡 스로틀 밸브 컨트롤러를 사용하고 있는데, 사용자가 압력 조절과 위치 조절을 스위칭 하면서 사용하고 싶어한다. 자동제어 프로그램으로 구성하려고 보니, 하나의 셋포인트를 사용하는 것보다는, SP1은 압력조절 모드로, SP2는 위치조절 모드로 사용하는 것이 좋겠다. 명령어는 다음과 같다. 처음 프로그램 구동하면서, 한번만 설정 해주면 된다. 각각 모드를 선택하고, 구동하게끔 해준다. 각각의 레서피 레이어에 압력/포지션 모드를 선택 할 수 있게 해주어야 한다.