텅스텐은 밀도가 높은 원소 중 하나입니다. 밀도는 19.3g/cc, 녹는점은 3,410°C, 증기압은 2,757°C에서 10 -4 Torr입니다. 외관상 광택이 있고 회백색입니다. 모든 금속 중에서 녹는점이 가장 높은 것으로 알려져 있으며, 특유의 경도로 인해 순수한 형태로 기계를 가공하거나 단조하는 것이 매우 어렵습니다. 텅스텐은 일반적으로 전기 필라멘트를 만드는 데 사용됩니다. 텅스텐 카바이드는 드릴, 톱, 보석류에서 발견됩니다. 텅스텐은 반도체, 연료전지, 센서 생산을 위해 진공 상태에서 증발됩니다. 텅스텐 박막은 써멀로는 증착이 불가능 하며, 일반적으로 이빔이나 스퍼터 방식을 사용합니다. 이빔도 일반적인 방법으로는 증착이 어려울 수 있습니다. 라이너를 사용하지 않고 사용하는 것이 좋지만, 덩어리로..

플라즈마 증착기에서 전극 부분에 결로 현상으로 인한 문제가 발생 할 수 있다. 특히 스퍼터 건의 파워 전달부는 결로 현상으로 인해 발생하는 문제를 찾기가 어렵다. 플라즈마 방전은 되지만, 증착 효율이 급격하게 떨어지기 때문에, 그 원인을 바로 짐작하기 어렵다. 공정 환경의 변화가 없다면, 결로 현상으로인한 파워 전달의 감소를 의심해 보아야 한다. 특히 RF 파워를 사용하는 경우 매칭점이 틀어지면서 해결 안되는 경우가 많다. 결로 현상으로 인한 문제가 의심된다면, 전극 부분을 교체 해야 한다.