플라즈마 Sheath 영역 설명

참고 사이트 https://blog.naver.com/rock0627/222485995126 2장 Vacuum and Plasma_2. Plasma 기초 2장의 첫 번째 포스팅에서 간단하게 진공에 대해 알아보았습니다. 사실 저는 현재 반도체 재료 분석 엔지니... blog.naver.com 스퍼터 건이나 DC 바이어스 등으로 방전을 하게 되면, 방전 소스 표면에 빛이 나지 않는 어두운 영역을 볼 수 있다. 이부분을 시스영역이라고 하는데, 스퍼터링이나 이온 에칭, PECVD 같은 공정에서는 상당히 중요한 부분이 된다. 이 부분은 플라즈마의 중성상태가 깨지면서 전위차가 존재하는 영역이고, 실제 이부분이 양이온이 가속되는 부분이라고 할 수 있다. 플라즈마가 형성되면서 전자는 양이온 보다 빠르게 이동하게 되고,..

2023.02.13