실리콘은 세계에서 가장 널리 사용되는 원소 중 하나입니다. 짙은 회색이며 푸른빛을 띠는 준금속성 물질입니다. 녹는점은 1,410°C, 밀도는 2.32 g/cc, 증기압은 1,337°C에서 10-4 Torr 입니다. 깨지기 쉬운 준금속으로 쉽게 깨질 수 있습니다. 실리콘은 전자 및 컴퓨터 산업에 널리 사용되는 반도체입니다. 용도에 따라 비소, 인 또는 붕소로 도핑되는 경우가 많습니다. 진공 상태에서 증발시켜 회로 소자, 데이터 저장 장치, 배터리 제조에 사용됩니다.실리콘(Si(P형))의 열증발실리콘을 열적으로 증발시키는 것은 어렵거나 불가능합니다.재료의 증발 온도는 10-2 Torr 의 증기압에 도달하는 데 필요한 온도입니다 . 이 증기압에서 일반적인 소스-기판 구조를 갖는 시스템에서 높은 증착 속도가 가..

박막의 두께가 많거나, 진공상태가 중요한 박막 증착장비에서 많이 사용하는 것이 멀티 QCM 센서이다. 보통 듀얼센서를 사용하거나 6, 12개 짜리 멀티 센서를 사용한다. 거의 대부분의 박막은 듀얼센서로 커버가 되지만, 극단적인 두께를 사용하거나, 벤트가 용이하지 않은 시스템이라면, 6, 12개 그 이상의 센서가 필요 할 수도 있다. 듀얼 센서이상의 멀티 센서를 제어하는 경우 가장 중요한 고려 사항이 몇가지 있다. 우선은 가장 중요한 것이 센서의 교대 시간이 짧아야 한다는 점이다. 사람이 손으로 파워를 제어하면서 올리는 경우라면, 크게 문제 될 것은 없지만, 자동으로 증착 속도를 제어하는 경우라면, 센서의 교대 시간은 굉장히 큰 이슈가 된다. 센서 교대 시간은 차로 치면, 눈을 감고 운전하는 것과 다르지 ..