페로브스카이트 계열의 재료는 광전지 분야에서 실리콘 재료의 대체제로 연구되고 있다. 실리콘 재료는 현재 가장 많이 활용되고 있는 물질이지만, 환경 영향, 제조 비용 및 확장성에 대한 한계 등으로 인해 여러 대체 가능한 물질이 연구되고 있으며, 그 중 가장 가능성이 높게 평가되는 것 중에 하나가 금속 할라이드 페로브스카이트 같은 물질이다. 페로브 스카이트는 탁월한 광 흡수 및 전하 수송 특성으로 인해 태양 전지 연구 및 개발에 매우 매력적인 소재가 되었다. 그 성능 효율은 2012년 9%에서 2022년 25%, 페로브스카이트-실리콘 탠덤 전지 31% 이상으로 발전 하였다. 이것은 역사상 가장 빠르게 발전하는 태양광 기술이다. 페로브스카이트의 기본 구조는 전반적으로 유사하다. 각 레이어에 대한 공통적으로 사..

써멀 증착기로 Ti 증착이 잘 안되고, 파워가 많이 들어가는 경우 표면에 옥시데이션 막을 제거해 주어야 한다. BOE에 담궈서 제거해주고, 잘 말려서 증착하면 된다. 텅스텐 보트와 합금이 되면서 보트를 자주 교체해 주면서 사용하는 것이 좋다.

박막을 제조하기 위한 많은 방법 중에서 비교적 간단하고, 쉬운 방법이 기상증착 방식입니다. 기상증착을 이용하기 위해서는 불순물을 제거하기 위해 진공시스템이 필요합니다. 진공시스템을 이용한 기상증착 장비는 보통 써멀과 이빔을 이야기 할 수 있습니다. 이 두가지 진공증착 시스템은 기본적으로 물질에 에너지와 힘을 가하여 물질을 녹이고, 가스 형태가 되어 증발되는 것을 이용하여 박막을 제조하는 것입니다. 장비의 구분은 가열 방식으로 구별 할 수 있는데, 써멀은 보트라는 히터를 가열하는 방식이고, 이빔은 전자총이라는 것을 이용하여 전자 충격을 가해 가열하는 방식입니다. 이 장비를 이용하여 혼합물과 화합물을 증착 하는 경우 고려해야 하는 몇가지를 적어 볼까 합니다. 1. 증착 속도를 높이기 위해서는 물질의 온도를 ..

반도체나 디스플레이 업종에서 알루미늄 박막은 활용도가 높습니다. 거의 필수 소재라고 할 수 있습니다. 최근 디스플레이에 활용되는 OLED에서도 알루미늄은 빠질 수 없는 소재입니다. 이런 알루미늄 박막은 흔히 말하는 PVD 써멀 증착기를 이용해서 만들어지게 됩니다. 진공 장치가 필요하고, 얇은 박막을 제조하다 보니 QCM 센서가 필요합니다. 그리고, 알루미늄을 녹이기 위한 보트, 즉 히터가 필요합니다. 개중에는 섭스트레이트 히팅을 필요로 하는 경우도 있으나, 알루미늄 박막은 히팅 보다는 오히려 냉각이 필요한 경우가 더 많습니다. 먼저 진공시스템에 대해서 살펴보면, 알루미늄 박막은 아주 높은 진공상태를 필요로 합니다. 그 이유는 알루미늄이 활성 금속이기 때문입니다. 반응을 잘 한다는 의미입니다. 특히 산소와..

이빔, 써멀 시스템에서 많이 사용하는 박막 두께 컨트롤러 그라운드 구성입니다. 접지상태가 좋지 않은 경우 증착 레이트 흔들림이 나타날 수 있습니다.