진공 챔버의 실링에 문제가 있는 것인지 확인하는 작업은 중요하면서 어려운 일입니다. 가장 손쉬운 방법은 헬륨 디텍터로 리크가 있는지 확인 하는 방법이 있습니다. 그러나, 보통 현장에서는 헬륨 디텍터가 없는 경우가 많지요. 이런 경우에는 진공게이지 하나에 의존해서 실제 리크가 있는지 확인 해야 합니다. 압력이 잘 내려가지 않는다면, 리크를 의심할 겁니다. 그런데, 어느 정도의 미세 리크는 순간적인 압력만으로 확인하기가 어렵습니다. 이게 실제 리크가 있는 것인지? 아웃개싱 때문인지? 굉장히 판단하기가 어렵습니다. 이때는 ROR 확인을 해보는 것이 좋습니다. 우선 저진공 영역에서 확인 가능한 실제 리크라면 압력 그래프로 예측해 볼 수 있습니다. 다음으로 ROR 테스트를 통해서 실제리크인지 아웃개싱인지 유추 할..

진공 영역은 크게 저진공, 고진공, 초고진공으로 분류 할 수 있다. 남아있는 물질의 양과 흐름에 따라서 분류하는 것인데, 저진공과 고진공 사이에 두가지 특성이 혼재되는 중진공을 넣기도 한다. 저진공은 대기압부터 E-3 Torr 영역을 의미하며, 고진공은 ~E-8 Torr 초고지공은 그이하로 구분한다. 주요 영역에 따라서 배기 하는 펌프를 구분 하기도 하는데, 제거하는 가스의 종류, 즉 남아있는 가스의 종류도 진공 영역에 따라서 생각해 볼 수 있다. 대기압은 습기를 머금고 있는 공기라고 생각하면 된다. 주요 제거 물질은 물과 공기의 대부분을 차지하고 있는 질소이다. 저진공 영역은 이 두가지를 중심으로 대부분 공기에 포함되어 있는 것들을 제거하는 영역이다. 이때의 흐름은 물의 흐름과 크게 다르지 않다. 보통..

진공 챔버와 알루미늄 아노다이징 처리에 따른 아웃개싱의 변화는 생각보다 큰 상관 관계가 있다. 보통 알루미늄 재료에 아노다이징 처리를 하는 경우 챔버 한계 진공도에 도달하는 시간이 길어지는 것을 확인 할 수 있다. 이런 현상을 관찰한 사람은 보통 리크를 의심하면서 리크체크로 시간을 허비하는 경우가 많다. ---------------- 알루미늄 아노다이징 처리를 하는 경우 3시간 기준 아웃개싱의 비율이 일반 알루미늄 보다 약 40배 정도 증가하는 것으로 알려져 있다. 10시간 경과 한 후에는 70배 정도의 증가를 보여준다. 결국 이것은 한계 진공도에 도달하는 시간을 매우 많이 지연 시킨다는 것을 의미한다. ---------------- 그러므로, 알루미늄 아노다이징 처리된 부품을 진공 챔버에 사용하는 경우..

최첨단 반도체 산업에서 진공장비를 생각하지 않고는 이야기가 되지 않습니다. 많은 장비들이 진공을 필요로 하고, 진공상태에서 제품을 만들고 있기 때문입니다. 이런 진공 환경은 기본적으로 챔버와 펌프를 기본으로하는 배기 시스템을 요구 합니다. 그리고, 일반 환경이 아닌 진공상태에서 동작 하는 부품들이 대부분이기 때문에, 일반적인 내구성과 특성 만을 고려하게 되면, 여러가지 문제가 발생하게 됩니다. 그런면에서 진공에서 사용되는 부품들은 기본적으로 선정하기 전에 고려해야 하는 것들이 있습니다. 1. 적합한 기체 방출률과 이를 감소시키기 위한 전처리가 필요한가? 2. 재료의 누설률을 확인해 보았는가? 3. 재료 고유의 증기압을 확인해 보았는가? 4. 재료의 녹는점과 끊는점을 확인해 보았는가? 5. 투과 또는 반사..