에싱(2)
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에싱 평가 방법 컨택앵글 측정에 대해서
필요한 도구, 피펫1. 피펫이란?피펫(Pipette)은 실험실에서 일정량의 액체를 정밀하게 측정하고 이동시키는 도구입니다. 주로 화학, 생물학, 의학 연구에서 사용되며, 정확한 부피의 액체를 옮길 때 필수적입니다.2. 피펫의 종류마이크로 피펫 (Micropipette)매우 적은 양(μL 단위)의 액체를 정밀하게 측정하는 데 사용됨.일반적으로 생명과학 실험에서 DNA, 단백질, 시약 등을 취급할 때 사용.눈금 피펫 (Graduated Pipette)여러 눈금이 표시되어 있어 다양한 양의 액체를 측정할 수 있음.유리 또는 플라스틱 재질로 제작됨.용량 피펫 (Volumetric Pipette)정해진 한 가지 용량(예: 5mL, 10mL 등)의 액체만 측정 가능.가장 정확한 액체 측정이 가능하며, 부피 측정이 ..
2025.02.25 -
평판형 에싱시스템
에싱(Ashing) 시스템에 사용 되는 방식은 크게 원통형과 평판형으로 구분 할 수 있다.원통형과 마찬가지로 ICP 소스를 많이 사용한다.다만, 원통형과는 달리 낱장 공정에 적합하며, 대면적 샘플에 적합하다.보통 소스 코일과 척 전극에 각각 파워가 연결되며, 이종의 주파수를 많이 사용한다.주파수별로 크게, LF, MF, RF, VHF로 구분한다.각각의 영역은 다음과 같다.LF : 40~800KHz(400KHz 많이 사용)MF : 1~3MHz (2MHz, 4MHz를 사용하는 경우도 있다.)RF : 13.56~40MHz(주로 13.56, 1256MHz를 사용하는 경우도 있다.)VHF : 40MHz 이상에싱 시스템의 경우 식각 공정 장비만큼 심각한 플라즈마 손상을 발생하지는 않지만, 이온 충격은 있을 수 있다..
2025.02.25