텅스텐은 밀도가 높은 원소 중 하나입니다. 밀도는 19.3g/cc, 녹는점은 3,410°C, 증기압은 2,757°C에서 10 -4 Torr입니다. 외관상 광택이 있고 회백색입니다. 모든 금속 중에서 녹는점이 가장 높은 것으로 알려져 있으며, 특유의 경도로 인해 순수한 형태로 기계를 가공하거나 단조하는 것이 매우 어렵습니다. 텅스텐은 일반적으로 전기 필라멘트를 만드는 데 사용됩니다. 텅스텐 카바이드는 드릴, 톱, 보석류에서 발견됩니다. 텅스텐은 반도체, 연료전지, 센서 생산을 위해 진공 상태에서 증발됩니다. 텅스텐 박막은 써멀로는 증착이 불가능 하며, 일반적으로 이빔이나 스퍼터 방식을 사용합니다. 이빔도 일반적인 방법으로는 증착이 어려울 수 있습니다. 라이너를 사용하지 않고 사용하는 것이 좋지만, 덩어리로..

레스커 참고자료 https://www.lesker.com/newweb/deposition_materials/depositionmaterials_evaporationmaterials_1.cfm?pgid=ag2 Kurt J. Lesker Company Enabling Technology for a Better World www.lesker.com

몰리브덴은 전이금속으로 녹는점은 2617도로 매우 높으며, 증기압은 10E-4 Torr 2117도입니다. 이빔으로 증착이 잘 됩니다. 라이너는 그라파이트 라이너를 사용하거나, 라이너 없이 사용하면 크게 문제없이 가능하다. 가능한한 스윕을 넓게 해주는 것이 좋고, 8자 패턴을 사용하면 적당합니다. 몰리브덴 증착에서 가장 문제되는 것은 진공도 상승인데, 충분히 탈가스를 한 후 증착을 시도하는 것이 중요합니다. 평형 증기압은 10E-2 Torr 정도이고, 이때 온도는 2600도 입니다. 일반적으로 평형증기압이 10E-2 Torr 근처인 물질은 빠른속도로 증착이 진행 됩니다. 다만 높은 온도가 필요하기 때문에 써멀 방식으로는 증착이 어렵습니다. 이빔으로는 증착이 잘 됩니다. 라이너는 그라파이트 라이너를 사용하거..

이빔으로 알루미늄을 증착하는 경우, 항상 발생하는 문제가 라이너의 깨짐, 넘침, 합금 등입니다. 결국 이것저것 해보다가 가장 좋은 방법은 라이너 없이 사용하는 것이라는 답을 얻게 됩니다. ------------------------------------------ 라이너 없이 알루미늄을 직접 히스에 넣고 사용하는 경우에는 다음 몇가지를 조심해야 합니다. 1. 냉각수 관리 2. 스윕의 범위 3. 소스의 양 4. 히스 및 셔터의 청결 상태 --------------------------------------------- 이정도만 주의 해주면, 크게 문제 없이 사용 할 수 있습니다.