함침 그라파이트 라이너 사용을 위한 가이드 l  그라파이트 라이너는 높은 내열성과, 내화학성, 전도성, 비용의 효율성과 같은 장점으로 이빔 증착기의 라이너로 많이 사용 됩니다.반면에 그라파이트 라이너는 다음과 같은 단점이 있습니다.1.     흡착 및 오염의 가능성그라파이트는 다공성 특성이 있어서 일부 재료가 표면에 흡착 될 수 있습니다.2.     증착층의 순도 저하 가능성그라파이트의 일부 입자가 증착 공정 중에 표면에서 떨어져 나가면서 증착되는 면에 불순물로 작용 할 수 있습니다.3.     산화 문제산화성 환경에서 고온으로 노출되면 산화될 가능성이 있습니다. 이때 CO, CO2 가스가 발생할 수 있고, 진공 시스템에 영향을 주는 경우가 있습니다. l  그라파이트 함침(graphite impregna..

이빔 증착기는 써멀, 스퍼터와 함께 가장 기본적인 증착기 중에 하나이다. 주로 금속박막을 제조하는데 사용되며, 간단한 구성에 효율 좋은 박막을 얻을 수 있다. 기구물이 스퍼터나 써멀에 비해 간단하고, 여러 물질을 증착 가능하기 때문에 잔고장이 적고 매우 효율적이라 할 수 있다. 이빔 증착기에서 가장 많이 발생하는 문제는 주로 아크로 인한 피드쓰루와 파워 서플라이 데미지, 그리고 필라멘트의 손상이다. 그 중에서 필라멘트의 손상은 주로 챔버 벤트와 같은 급격한 냉각으로 발생하기 때문에, 챔버 벤트전에 시간만 충분히 주어도 문제를 예방 할 수 있다. 피드쓰루나 파워의 손상은 고전압으로 인한 문제가 주요 원인이기 때문에, 사용 방법에 따라서 문제를 방지하는 것이 어려울 수 있으나, 필라멘트의 손상은 벤트만 잘해..