이빔 그라파이트 함침 라이너 사용을 위한 가이드
함침 그라파이트 라이너 사용을 위한 가이드 l 그라파이트 라이너는 높은 내열성과, 내화학성, 전도성, 비용의 효율성과 같은 장점으로 이빔 증착기의 라이너로 많이 사용 됩니다.반면에 그라파이트 라이너는 다음과 같은 단점이 있습니다.1. 흡착 및 오염의 가능성그라파이트는 다공성 특성이 있어서 일부 재료가 표면에 흡착 될 수 있습니다.2. 증착층의 순도 저하 가능성그라파이트의 일부 입자가 증착 공정 중에 표면에서 떨어져 나가면서 증착되는 면에 불순물로 작용 할 수 있습니다.3. 산화 문제산화성 환경에서 고온으로 노출되면 산화될 가능성이 있습니다. 이때 CO, CO2 가스가 발생할 수 있고, 진공 시스템에 영향을 주는 경우가 있습니다. l 그라파이트 함침(graphite impregna..
2025.02.13