플라즈마 방전 장치, RF 케이블 발열 문제에 대한 생각

진공 증착 장비, 에칭 장비 등등에서 박막 제조를 위해 사용하는 플라즈마. 그리고, 플라즈마를 발생시키기 위해 사용하는 많은 파워 중에서 가장 보편화 되어 있는 13.56MHz의 RF파워. 우리는 반도체, 디스플레이 등등의 꽤 많은 분야에서 RF 파워 플라즈마 장치를 응용하고 있습니다. 일반 DC 플라즈마 장치보다는 RF 파워 플라즈마 장치가 구성이 다소 복잡하고, 매칭네트워크 등이 필요해서 다소 복잡한 면도 있습니다. 그러나, 절연체에서도 사용이 가능하고, 박막의 표면 특성이 개선되는 것이 많아서 RF를 사용하는 경우가 많이 있습니다. 이런 RF 방전 플라즈마 장치는 여러 가지 고려 할 점이 많이 있지만, 오늘은 RF 케이블에서 발생하는 발열 문제에 대해서 적어 보려고 합니다. RF 플라즈마 방전 장치..

2020.04.08