이빔, 써멀 시스템에서 많이 사용하는 박막 두께 컨트롤러 그라운드 구성입니다. 접지상태가 좋지 않은 경우 증착 레이트 흔들림이 나타날 수 있습니다.

1000V 이상의 고전압파워를이용해서 디바이스의 전류값을 측정하기 위해서는 기본적으로 직렬로 회로가 구성되어야 합니다. 그리고, 이렇게 구성되어 있는 회로에서 접지 상태와 구성에 따라서 측정값의 오차 및 노이즈 발생등이 달라질 수 있습니다. 정확한 전류값의 측정을 위해서는 노이즈 성분을 제거 해야 하며, 접지 상태가 매우 중요한 영향을 미치게 됩니다. 그리고, 플로팅 그라운드 기능이 있는 전원 공급 장치를 사용하는 것이 좋습니다. 보통은 플로팅 그라운드가 아닌 샷시 그라운드로 많이 사용하지만, 이러한 구성은 미세 전류의 측정이 어렵고, 노이즈에도 많이 취약한 경향이 있습니다. 측정하려는 전류가 미세전류라면 더욱더 플로팅 그라운드 기능이 있는 파워 서플라이를 사용해야 합니다. 그라운드를 연결할 때도, 넓은..