1.     오링 및 구리 재질의 챔버 실링재료의 검토 기준1)     포스핀 가스의 플라즈마에 대한 내화학성 검토2)     포스핀 가스의 플라즈마 및 히터 등 공정에 따른 내열성 검토3)     포스핀 가스의 플라즈마 저항성4)     챔버 실링의 압력 및 기밀성 검토5)     재사용 및 가격 검토 2.     O-Ring 실링에 대한 검토1)      내화학성과 내열성이 우수하며, 최대 200~250° C까지 견딜 수 있음.2)      대부분의 가스 및 화학 물질에 감함, 포스핀과의 반응성 없음.3)      플라즈마에 장시간 노출 될 경우 열화 가능성이 있으나, 포스핀 환경에서는 안정적.4)      설치가 용이하며, 밀폐 성능이 우수함.5)      재사용이 용이함.6)      다른 실링 ..

진공 장비에서 사용하는 윤활제는 3가지 정도가 있습니다. 1. 진공용 오일, 그리즈(Oil, Grease) 2. 고체 윤활제 3. 자기 윤활성 복합제 진공 장비에 사용되는 윤활제는 증기압이 낮은 진공 펌프 작동유가 사용되고, 허용되는 압력에 따라 오일의 종류를 분류하여 사용합니다. 진공 그리즈(Grease)는 탄화수소계(E-3 Pa), 불소계(E-6 Pa) 합성유를 기본으로 만들어지고 있습니다. 이보다 더 높은 수준의 것으로는 불소계 폼블린 제품이 있습니다. 고체 윤활제는 MoS2, WS2, C, BN, AU, AG, PTEF(테프론) 등이 있습니다. 오일, 그리즈에 비해 방출 가스가 적고, 넓은 온도의 범위에서 사용이 가능합니다. 금속, 금속화합물의 경우에는 500도 미만의 온도 범위에서 사용 가능하며..