질량 유량 컨트롤러(Mass Flow Controller) 설명
MFC (Mass Flow Controller)1. 질량 유량 컨트롤러는 설정된 유량 신호에 따라 가스의 유량을 자동으로 제어하며, 사용 조건이나 가스 압력 변화에도 영향을 받지 않고 일정한 유량을 유지하고 제어합니다.유량은 크게 다음과 같이 구분 할 수 있습니다.1) 체적 유량(Volumetric Flow)2) 질량 유량(Mass Flow)체적 유량 측정은 주변 온도와 압력의 영향을 받으므로, 실제 유량을 확인하려면 압력과 온도 조건을 측정하고 계산에 포함해야 합니다.반면, 질량 유량 측정은 유체의 질량을 측정하는 방식으로, 온도 및 압력 조건의 영향을 훨씬 적게 받기 때문에 더욱 정확하고 안정적인 유량 측정 및 제어가 가능합니다. 2. 구조1) 유량 센서(Flow Rate..
2025.02.13