팔라듐 증착과 난융금속에 대해서

팔라듐을 이빔으로 증착하면서, 라이너에 문제가 발생하는 경우가 많습니다. 발생하는 문제는 알루미늄과 비슷한 증상을 보입니다. 문제 발생의 원인은 반응성에 있습니다. 알루미늄과 마찬가지로 라이너와 반응하면서 합금이 되고, 달라붙으면서 문제가 발생하게 됩니다. 가장 쉽게 관찰되는 현상은 라이너에 구멍이 생기거나, 깨지는 현상입니다. 그리고, 증착 속도의 변화와 증착 물성의 변화 등이 있을 수 있습니다. 팔라듐 역시 알루미늄처럼 사용하는 라이너와 반응을 하면서 문제가 발생하는 것입니다. 녹는점이 높아서 텅스텐을 많이 사용하는데, 별로 좋은 결과는 얻기 힘들다고 봅니다. 텅스텐, 몰리, 탄탈 등 난융금속과 반응을 하기 때문이지요. [난융금속, refractory metal] 녹는점이 철보다 높은 금속을 말합니다..

2018.09.08