이거 예전에 많이 썼는데, 매뉴얼이 안보이네요.

크라이오 펌프는 저장성 펌프(흡착식으로 가스를 잡아두고 있는)이기 때문에 응축 및 흡착한 기체를 외부로 방출하고, 다시 배기 가능한 상태로 성능을 회복시키는 과정이 필요하다. 이러한 과정을 재생(regeneration)이라고 하며, 그 시기가 언제인가는 다음과 같은 것들로 판단한다. 1. 15K 판넬의 온도가 20K이상으로 올라가는 경우 또는 유지되는 경우. 2. 80K 쉴드의 온도가 130K이상으로 유지되는 경우. 3. 주벨브를 닫아 5분후 압력이 1.3E-4Pa 이하로 되지 않는 경우. 4. 배기 성능이 장치의 요구 성능에 부합되지 않는 경우. 참고: 크라이오 펌프의 배기 용량 측정은 크게 응축성기체(Ar)와 비응축성 기체(H2)로 측정한다. 응축성 기체는 배기 불가까지 측정하고, 비응축성 기체는 초..