Cryogenic Pump(2)
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크라이오 펌프 설치 할 때 주의 할 점
진공박막 장치에서는 다양한 열원이 발생하게 되는데, 크라이오 펌프의 경우 이렇게 발생하는 열원에서 자유로워야 성능을 제대로 발휘 할 수 있다. 보통 냉동 능력은 기종에 따라 다르겠지만, 통상 1단이 80K, 2단이 20K 정도이고, 챔버 내에서 발생하는 열원에 의해 크라이오 펌프의 냉동 능력이 떨어지게 된다. 특히 직접 열원에 노출되는 경우에는 냉동 능력을 넘어서는 문제가 발생하게 되고 펌프는 그 능력을 상실하게 된다. 그러므로 이러한 열원에서 차폐하고 격리할 필요가 있다. 참고 사이트 : 한국알박 https://m.blog.naver.com/ulvac_cryo/221503643085 [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 2 크라이오 펌프의 사용방법 1. 크라이오 펌프의 부착과 설치 CRY..
2021.12.30 -
크라이오 펌프 재생이 필요한 시점은 언제일까?
크라이오 펌프는 저장성 펌프(흡착식으로 가스를 잡아두고 있는)이기 때문에 응축 및 흡착한 기체를 외부로 방출하고, 다시 배기 가능한 상태로 성능을 회복시키는 과정이 필요하다. 이러한 과정을 재생(regeneration)이라고 하며, 그 시기가 언제인가는 다음과 같은 것들로 판단한다. 1. 15K 판넬의 온도가 20K이상으로 올라가는 경우 또는 유지되는 경우. 2. 80K 쉴드의 온도가 130K이상으로 유지되는 경우. 3. 주벨브를 닫아 5분후 압력이 1.3E-4Pa 이하로 되지 않는 경우. 4. 배기 성능이 장치의 요구 성능에 부합되지 않는 경우. 참고: 크라이오 펌프의 배기 용량 측정은 크게 응축성기체(Ar)와 비응축성 기체(H2)로 측정한다. 응축성 기체는 배기 불가까지 측정하고, 비응축성 기체는 초..
2021.12.30