진공 펌핑 시스템에서 크라이오펌프 사용 포어벨브 인터락 설정

진공 시스템에서 크라이오 펌프를 메인 펌프로 사용하는 시스템의 경우 포어벨브 인터락을 어떻게 설정 해야 하는가? 포어밸브를 열기 위한 기본 인터락은 다음과 같다. 1. 저진공 펌프가 켜져 있어야만 한다. 2. 러핑 벨브가 닫혀 있어야만 한다. 3. 크라이오 펌프가 꺼져 있어야 한다. (물론 리젠하는 방법중에 쿨다운과 펌핑을 병행하여 진행하는 것도 있지만, 주의 해야 할 점이 많다.) 4. 크라이오 펌프가 50K 이하인 상태에서는 포어밸브를 열면 안된다. 5. 질소 퍼지하면서 포어벨브를 열면 안된다.

2019.10.31