KRI Ion Beam Trouble Shooting(KRI 이온빔 트러블 슈팅) 정리

TROUBLESHOOTING 1. 파워서플라이. 이온 소스 시스템이 작동하지 않으면 파워서플라이, 이온 소스또는 기타 컴포넌트 결함이 있는지 명확하지 않은 경우가 많습니다. 파워서플라이가 문제로 의심되는 경우 이온 소스는 일반적으로 작동 압력(operating pressure)까지 펌핑되는 진공 챔버 내에 있습니다. 문제 해결은 배큠챔버를 대기 (atmosphere)로 배출하여 수행할 수 있지만 작동 압력 (operating pressure)으로 다시 펌핑하는 데 상당한 시간이 소요됩니다. 가장 좋은 순서는 환기 없이 최소한 초기 문제 해결을 수행하는 것입니다. 이온 소스 내에서 반응성 가스가 사용되는 경우 anode에 절연 코팅이 생성될 수있습니다. 이 절연 코팅은 일반적으로 실행 중에는 문제가 되지 ..

2022.11.11