로드락 챔버와 글러브 박스 결합 타입의 OLED 챔버 제작 팁

최근 OLED 제품에 생산되는 증착 장비에서 글러브 박스는 필수 아이템중 하나입니다. 최근 연구용 시스템으로 구성되는 OLED 증착 시스템을 보면, 증착챔버와 샘플로딩을 위한 로드락 챔버, 그리고 글러브 박스가 도킹되어 있는 형태로 제작 되는 경우가 많습니다. 로드락 챔버는 마스크 체인지와 크리닝 장치를 부착하여 좀더 효율성을 높이는 경우가 많습니다. 오늘은 이런 로드락챔버의 양압 관련한 내용을 적어 볼까 합니다. 샘플 로딩을 위한 로드락 챔버는 벤트를 하고, 글러브 박스를 통해 로딩을 하게 됩니다. 이런 형태의 로딩은 챔버 도어 부분에 진공이 아닌 양압이 걸리는 상태가 됩니다. 보통의 증착 장비는 양압에 대한 대비가 없습니다. 그러나, 이런 형태의 챔버는 양압에 대한 대비가 있어야 합니다. 대기압이상으..

2021.02.09