1.     오링 및 구리 재질의 챔버 실링재료의 검토 기준1)     포스핀 가스의 플라즈마에 대한 내화학성 검토2)     포스핀 가스의 플라즈마 및 히터 등 공정에 따른 내열성 검토3)     포스핀 가스의 플라즈마 저항성4)     챔버 실링의 압력 및 기밀성 검토5)     재사용 및 가격 검토 2.     O-Ring 실링에 대한 검토1)      내화학성과 내열성이 우수하며, 최대 200~250° C까지 견딜 수 있음.2)      대부분의 가스 및 화학 물질에 감함, 포스핀과의 반응성 없음.3)      플라즈마에 장시간 노출 될 경우 열화 가능성이 있으나, 포스핀 환경에서는 안정적.4)      설치가 용이하며, 밀폐 성능이 우수함.5)      재사용이 용이함.6)      다른 실링 ..

1. PH3 특징 1) 공기중에 노출 (1%이상) 되면 불이 붙을 수 있는 가연성 가스 입니다. 안전하게 처리 하기 위해서는 P2O5로 산화시켜서 배기시켜야 합니다. 2. 처리방법 1) 건식(상온) 스크러버로 흡착제를 이용하여 산화시켜 처리하는 방식이 가능합니다. 다만 가장 좋은 방법은 태워서 처리 하는 방식입니다. 2) 건식 흡착제로 하얀색 가루(P2O5)들이 농축되고, 드라이 펌프 N2 Purge로 계속 뽑으면서 농도 낮춰서 배기할 시 크게 문제 되지는 않습니다. 3) 다만, 포스핀을 고농도로 뽑으면 반응열이 높아서 Ar이나 N2로 희석시켜서 농도를 낮게 해서(예를 들어 포스핀 1sccm이면 N2 100sccm) 계속 불어넣어서 1% 미만 희석시켜 스크루버로 가서 처리하는 것이 권장됩니다. 너무 N2..