PLD(2)
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Pulsed Laser Deposition CCD Camera Selection Guide
Pulsed Laser Deposition (PLD) 장비에서 사용 가능한 CCD 카메라는 실험 조건과 요구 사항에 따라 다르지만, 일반적으로 다음과 같은 특성을 갖춘 카메라가 적합합니다. 고속 프레임 레이트 (High Frame Rate): 레이저 플룸(plume)이나 증착 과정을 모니터링하려면 최소 30 fps 이상의 속도가 필요하며, 경우에 따라 1000 fps 이상의 초고속 카메라가 필요할 수도 있습니다. 고해상도 (High Resolution): 1MP 이상의 고해상도 CCD 센서가 증착 과정의 미세한 변화를 관찰하는 데 유리합니다. 감도 (High Sensitivity): PLD 공정 중 플룸(plume)의 빛을 효과적으로 감지하려면, 저조도에서도 신호를 잘 감지할 수 있는 고감도 ..
2025.02.18 -
PLD 증착 장비에서 무반사(AR) 코팅 퀄츠 글래스를 사용해야 하는 이유
무반사(AR) 코팅 글래스는 말그대로 반사가 되지 않도록 하는 코팅이다. PLD 장비에서 프레넬 반사에 따르면 빛의 경우 공기중에서 빛의 약 4%정도가 반사된다. 투과 되는 빛은 92%정도가 되는 것으로 알려져 있다. 레이저를 사용하는 PLD 시스템은 반사로 인해 레이저 광의 출력이 감소 되고, 레이저 유도 손상을 발생 시킬 수 있다. AR 코팅을 적용하면, 시스템의 출령량이 증가하고, 반사되는 빛이 다시 시스템 내부로 입사 되기 때문에 고스트 이미지를 생성하는 피해를 줄일 수 있다. 이것은 증착률에도 많은 영향을 주게 된다. AR 코팅 박막은 상단 및 하단 경계에서 반사되는 빔 간의 상대적 위상변이가 180도가 되도록 설계된다.
2020.12.17