진공 챔버의 실제 리크와 아웃개싱의 구분

진공 챔버의 실링에 문제가 있는 것인지 확인하는 작업은 중요하면서 어려운 일입니다. 가장 손쉬운 방법은 헬륨 디텍터로 리크가 있는지 확인 하는 방법이 있습니다. 그러나, 보통 현장에서는 헬륨 디텍터가 없는 경우가 많지요. 이런 경우에는 진공게이지 하나에 의존해서 실제 리크가 있는지 확인 해야 합니다. 압력이 잘 내려가지 않는다면, 리크를 의심할 겁니다. 그런데, 어느 정도의 미세 리크는 순간적인 압력만으로 확인하기가 어렵습니다. 이게 실제 리크가 있는 것인지? 아웃개싱 때문인지? 굉장히 판단하기가 어렵습니다. 이때는 ROR 확인을 해보는 것이 좋습니다. 우선 저진공 영역에서 확인 가능한 실제 리크라면 압력 그래프로 예측해 볼 수 있습니다. 다음으로 ROR 테스트를 통해서 실제리크인지 아웃개싱인지 유추 할..

2020.05.22