써멀 증착기로 Ti 증착이 잘 안되고, 파워가 많이 들어가는 경우 표면에 옥시데이션 막을 제거해 주어야 한다. BOE에 담궈서 제거해주고, 잘 말려서 증착하면 된다. 텅스텐 보트와 합금이 되면서 보트를 자주 교체해 주면서 사용하는 것이 좋다.