PVD Evaporation 시스템 구성과 돔(Dome)

증착 장비에서 대표적인 것이 써멀과 이빔이다. 써멀시스템의 경우 대용량의 빠른 속도 증착이 가능하지만 일정한 레이트 조절은 한계가 있다. 돔으로 많은 샘플을 만들 경우에도 써멀시스템이 유리하다. 반면에 이빔은 의외로 빠른속도 증착이 어려운 경우가 많다. 써멀은 소소가 녹으면서 넓게 퍼지는 반면, 이빔은 에로우 존이 좁아지면서 돔으로 구성하는 경우 균일도 확보가 다소 어렵다. 이때 가장 중요한 것은 에로우 존은 최대 30도 정도로 생각하고 돔을 구성해야 한다. 소스와 돔의 거리가 중요한데, 이때 돔의 크기가 소스에서 30도 안에 들어오도록 구성해 주어야 균일도가 틀어지지 않는다.(경험상 450mm 32도가 최대이다.) 그리고, 거리가 멀어지면(증기압, 민프리패스의 영향 등) 급속도로 균일도가 감소한다. 균..

2022.12.07