기체의 가스와 증기에 대해서

기체는 가스(Gas)와 증기(Vapor)로 나누어 생각 할 수 있다. 그 차이점은 가스는 상온 상압하에서 일정한 공간을 점유한 무정형 유체를 의미하면, 25도, 1기압 상태에서 기체상태로 존재한다. 반면, 증기(Vapor)는 25도 기준 상온 상압에서 액체 또는 고체로 존재하는 물질이 압력 강하(진공) 온도상승(Thermal, E-Beam, Heat)으로 인해 기체 상태로 존재하는 유체로서 보통 기체와 액적이 섞여 있는 상태로 있게 된다. 보통의 물리적인 증착 시스템은 이러한 액적상태의 물질이 씨드를 형성하는 것을 이용한다. 그런면에서, True Gas라 함은, Critical Point 압력에 관계없이 물질의 액체상태가 더 이상 존재하지 않게 되는 온도, 즉 임계점 이상의 온도로 존재하는 가스를 의미한..

2021.02.26